Semicorex என்பது SiC கோடட் MOCVD சஸ்பெக்டரின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்களின் தயாரிப்பு செமிகண்டக்டர் தொழிற்சாலைகளுக்காக செதில் சிப்பில் எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்க்க பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கேரியர், கியர் அல்லது வளைய வடிவ வடிவமைப்புடன் MOCVD இல் மையத் தகடாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பையும், தீவிர சூழல்களில் சிறந்த நிலைப்புத்தன்மையையும் உறுதிசெய்யும் வகையில், எம்ஓசிவிடி உபகரணங்களில் எங்கள் சஸ்செப்டர் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
எங்களின் SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டரின் மிக முக்கியமான அம்சங்களில் ஒன்று, அது உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்த்து, அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. தயாரிப்பு உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது. உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் உயர் தூய்மை அடையப்படுகிறது. தயாரிப்பு நுண்ணிய துகள்களுடன் அடர்த்தியான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்களின் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும்.
எங்களின் SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட அமைப்பை உறுதி செய்கிறது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. Semicorex ஒரு போட்டி விலை நன்மையை வழங்குகிறது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. எங்கள் குழு சிறந்த வாடிக்கையாளர் சேவை மற்றும் ஆதரவை வழங்க அர்ப்பணித்துள்ளது. உங்கள் வணிக வளர்ச்சிக்கு உதவும் வகையில் உயர்தர மற்றும் நம்பகமான தயாரிப்புகளை வழங்குவதன் மூலம் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம்.
SiC பூசப்பட்ட MOCVD சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
SiC பூசப்பட்ட MOCVD சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்