Semicorex ஒரு நம்பகமான சப்ளையர் மற்றும் MOCVD க்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சசெப்டரின் உற்பத்தியாளர். செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் எங்கள் தயாரிப்பு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தயாரிப்பு MOCVD இல் மையத் தகடாக, கியர் அல்லது வளைய வடிவ வடிவமைப்புடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகிறது.
எம்ஓசிவிடிக்கான எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் பல முக்கிய அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது, அது போட்டியிலிருந்து தனித்து நிற்கிறது. இது அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கிறது, மேலும் அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் கூட நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிப்பு உயர் தூய்மையுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது. இது நுண்ணிய துகள்கள் கொண்ட அடர்த்தியான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்களின் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும்.
MOCVDக்கான எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்தவொரு மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
MOCVDக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
MOCVDக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்