MOCVD க்கான SiC சஸ்செப்டர்

MOCVDக்கான எங்களது SiC Susceptor என்பது பல முக்கிய அம்சங்களைக் கொண்ட உயர்தரத் தயாரிப்பாகும். இது அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கிறது, மேலும் அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் கூட நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிப்பு உயர் தூய்மையுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது. இது நுண்ணிய துகள்கள் கொண்ட அடர்த்தியான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்களின் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும்.
MOCVDக்கான எங்கள் SiC சஸ்செப்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்தவொரு மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

MOCVDக்கான SiC சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்

MOCVDக்கான SiC சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்

- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்