SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்

Semicorex SiC கிடைமட்ட உலை குழாய் என்பது கிடைமட்ட பரவல் மற்றும் வெப்ப செயலாக்க உலைகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான செராமிக் செயல்முறை குழாய் ஆகும். குழாய் உயர் வெப்பநிலை செயல்பாடுகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினை சூழலை உருவாக்குகிறது.

காட்டப்பட்டுள்ள தயாரிப்பு மேம்பட்ட 3D பிரிண்டிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்பட்ட ஒருங்கிணைந்த ஒரு-துண்டு கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. செயல்பாட்டின் போது, ​​உலை குழாய் எதிர்வினை மற்றும் பாதுகாப்பு வாயு வளிமண்டலங்களுக்கு வெளிப்படும், இதில் அடங்கும்:

* ஆக்ஸிஜன் (எதிர்வினை வாயு)

* நைட்ரஜன் (பாதுகாப்பு வாயு)

* சிறிய அளவு ஹைட்ரஜன் குளோரைடு (HCl)

இயக்க வெப்பநிலை தோராயமாக 1250 டிகிரி செல்சியஸ் அடையலாம், இது சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட உற்பத்தி சுழற்சிகளில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க பொருள் தேவைப்படுகிறது.

பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்களுடன் ஒப்பிடும்போது,SiCஉலை குழாய்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை நிலைமைகளுக்கு கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்ட எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன.

SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்களின் முக்கிய அம்சங்கள்

மேம்பட்ட 3D அச்சிடப்பட்ட ஒருங்கிணைந்த கட்டமைப்பு

உலைக் குழாய் மேம்பட்ட 3D பிரிண்டிங் ஒரு-துண்டு உருவாக்கும் தொழில்நுட்பத்தை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது கூறு சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையுடன் சிக்கலான வடிவவியலை அடைய அனுமதிக்கிறது.

ஒருங்கிணைந்த கட்டமைப்பு பல நன்மைகளை வழங்குகிறது:

* குறைக்கப்பட்ட சட்டசபை இடைமுகங்கள்

* மேம்படுத்தப்பட்ட கட்டமைப்பு வலிமை

* மேம்படுத்தப்பட்ட சீல் செயல்திறன்

* சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை

* வெப்ப சுழற்சியின் போது அதிக நம்பகத்தன்மை

இந்த உற்பத்தி முறையானது வெவ்வேறு குறைக்கடத்தி உலை அமைப்புகளுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளையும் செயல்படுத்துகிறது.

மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் தூய்மை முக்கியமானது. SiC உலைக் குழாயின் அடிப்படை பொருள் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் 100 PPM க்குக் கீழே கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் 1 PPM க்கும் குறைவாக உள்ளது.

அதி-உயர் தூய்மையானது, குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது மாசுபாடு அபாயங்களைக் குறைக்க உதவுகிறது, நிலையான செதில் தரம் மற்றும் மேம்பட்ட சாதன விளைச்சலை உறுதி செய்கிறது.

குறைந்த மாசு செயல்திறன் குறிப்பாக முக்கியமானது:

* சிலிக்கான் செதில் பரவல்

* ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள்

* சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

* மேம்பட்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்று உருவாக்கம்

* கூட்டு குறைக்கடத்தி செயலாக்கம்

உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்

வழக்கமான உலைப் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது சிலிக்கான் கார்பைடு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகிறது. திறமையான வெப்ப பரிமாற்றமானது உலைக் குழாயை செயல்முறை அறை முழுவதும் மிகவும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது.

சீரான வெப்ப செயல்திறன் உதவுகிறது:

* செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும்

* வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்கவும்

* வேஃபர் அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும்

* செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்கிறது

* துல்லியமான வெப்பக் கட்டுப்பாட்டை ஆதரிக்கவும்

இது உயர் வெப்பநிலை பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகளில் குறிப்பாக மதிப்புமிக்கது, அங்கு வெப்பநிலை சீரான தன்மை செதில் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைப்புத்தன்மை

குறைக்கடத்தி உலை அமைப்புகள் அடிக்கடி விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளை அனுபவிக்கின்றன. SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, அவை கடுமையான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களை விரிசல் அல்லது சிதைவு இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மை செயல்பாட்டு நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை உற்பத்தி நிலைமைகளின் கீழ் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

வலுவான CVD SiC பூச்சு ஒட்டுதல்

திCVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஅடி மூலக்கூறுக்கு வலுவான பிணைப்பு வலிமையுடன் மிகவும் அடர்த்தியான மற்றும் நீடித்த பாதுகாப்பு மேற்பரப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது.

பூச்சு வழங்குகிறது:

* சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

* அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு

* மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு தூய்மை

* சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை

* ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களில் மேம்பட்ட ஆயுட்காலம்

வலுவான பூச்சு ஒட்டுதல் நீண்ட கால செயல்பாட்டின் போது உரித்தல் அல்லது சிதைவைத் தடுக்க உதவுகிறது.

வலுவான அமிலம் சுத்தம் செய்ய எதிர்ப்பு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், செயல்முறை கூறுகளுக்கு அடிக்கடி டெபாசிட் செய்யப்பட்ட எச்சங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற அவ்வப்போது இரசாயன சுத்தம் தேவைப்படுகிறது. SiC உலை குழாய் வலுவான அமிலத்தை சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை நிரூபிக்கிறது, தொடர்ச்சியான பராமரிப்பு சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு நிலையான மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

இந்த பண்பு வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் நீண்ட கால செயல்முறை நிலைத்தன்மையை ஆதரிக்கிறது.

SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்களின் பயன்பாடுகள்

SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் செமிகண்டக்டர் வெப்ப செயலாக்க கருவிகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

* செதில் ஆக்சிஜனேற்ற அமைப்புகள்

* குறைக்கடத்தி பரவல் உலைகள்

* அனீலிங் உபகரணங்கள்

* LPCVD அமைப்புகள்

* வெப்ப செயலாக்க அறைகள்

* சிலிக்கான் செதில் உற்பத்தி

* சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

* SiC மற்றும் GaN குறைக்கடத்தி செயலாக்கம்

அதி-சுத்தமான சூழல்கள், அதிக வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவை குறிப்பாக பொருத்தமானவை.

Semicorex SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்களை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர்-கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் SiC கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் நம்பகமான நீண்ட கால செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த உயர் தூய்மை பொருட்கள், மேம்பட்ட CVD பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான தரக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகின்றன.

நாங்கள் வழங்குகிறோம்:

* உயர் தூய்மைSiC பொருட்கள்

* துல்லியமான 3D ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி

* சிறந்த வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை

* வலுவான CVD பூச்சு ஒட்டுதல்

* தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பரிமாணங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகள்

* குறைக்கடத்தி தர மாசு கட்டுப்பாடு

* நம்பகமான உலகளாவிய தொழில்நுட்ப ஆதரவு

மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை பயன்பாடுகளில் விரிவான நிபுணத்துவத்துடன், செமிகோரெக்ஸ் உலகளவில் அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை ஆதரிக்கும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC தீர்வுகளை வழங்குகிறது.