Semicorex SiC வெப்பமூட்டும் இழை என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹீட்டர் ஆகும், இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செதில் வெப்பமாக்கலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, அதிக தூய்மையான பொருட்கள், துல்லியமான தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் மிகவும் தேவைப்படும் வெப்பச் செயல்முறைகளுக்கு நீண்டகால செயல்திறன் ஆகியவற்றை வழங்கும் நம்பகமான கூட்டாளரைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும்.*
Semicorex SiC வெப்பமூட்டும் இழை, புதிய செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் செதில் செயலாக்கத்திற்காக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு உயர் வெற்றிட வெப்பமூட்டும் உறுப்பு, இது ஒரு புதுமையான வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஆகும்.கிராஃபைட் கோர்மற்றும் உயர் தூய்மைசிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு. சிறப்பு இழை கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் SiC இன் ஆயுள் மற்றும் பாதுகாப்பைப் பயன்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக காலப்போக்கில் நிலையான மற்றும் ஆற்றல்-திறனுள்ள ஹீட்டரை உருவாக்குகிறது. SiC ஹீட்டிங் ஃபிலமென்ட் செதில்களை ஒரே மாதிரியாக வெப்பப்படுத்தவும், விவரக்குறிப்பை அடையவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது எபிடாக்ஸி, டிஃப்யூஷன் மற்றும் அனீலிங் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான சிறந்த அங்கமாக அமைகிறது.
Semicorex SiC வெப்பமூட்டும் இழைகளின் பயன்பாடுகள், செமிகண்டக்டர் சாதன புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் விரிவான வரிசையை உள்ளடக்கியது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, எடுத்துக்காட்டாக, வெப்பமூட்டும் உறுப்பு உயர்தர படிகப் படங்களை வைப்பதற்கு நிலையான மற்றும் சீரான அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையை வழங்குகிறது.
SiC வெப்பமூட்டும் இழையின் முக்கிய தரம் செதில்களின் சீரான வெப்பத்தை வழங்கும் திறன் ஆகும். செதில் முழுவதும் வெப்பநிலை மாறுபாடுகள் குறைபாடுகள் அல்லது இழப்பு விளைச்சலுக்கு வழிவகுக்கும். SiC வெப்பமூட்டும் இழை சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் இழையின் திடமான வடிவமைப்பு வெப்பம் நிலையானதாகவும் சீரானதாகவும் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, முழுமையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டிற்கான வெப்ப சாய்வுகளை கட்டுப்படுத்துகிறது.
SiC வெப்பமூட்டும் இழை தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, ஒவ்வொரு இழையின் மின் எதிர்ப்பு மதிப்பையும் அதன் செயல்முறை கருவி மற்றும் இயக்க சூழலுக்கு தனிப்பயனாக்கலாம். இந்த தனிப்பயனாக்கம் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தொழில்நுட்பத்தை இழை வடிவவியல், பூச்சு தடிமன் மற்றும் பொருள் பண்புகளின் எதிர்ப்பு மதிப்பைக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது. ஒரு SiC வெப்பமூட்டும் இழை பல்வேறு உலை வடிவமைப்புகளை பல்வேறு செதில் அளவுகள் மற்றும் செயல்முறை சமையல் குறிப்புகளுடன் பொருந்தும். இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு குறிப்பாக சாதகமானது, ஏனெனில் இது தற்போதைய செயல்முறைகளை மிகவும் திறமையாக இயக்க அனுமதிக்கிறது மற்றும் ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளுடன் இணக்கத்தன்மையை பராமரிக்கிறது. செயல்திறனின் மூன்றாவது அம்சம் ஆயுள். அதிக வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், வெப்பமூட்டும் உறுப்பு மிகவும் தீவிரமான இரசாயன சூழல்கள் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சுழற்சிக்கு வெளிப்படும்.
Semicorex SiC வெப்பமூட்டும் இழைகளின் பயன்பாடுகள், செமிகண்டக்டர் சாதன புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் விரிவான வரிசையை உள்ளடக்கியது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, எடுத்துக்காட்டாக, வெப்பமூட்டும் உறுப்பு உயர்தர படிகப் படங்களை வைப்பதற்கு நிலையான மற்றும் சீரான அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையை வழங்குகிறது.