MOCVD ஹீட்டர்

இந்த ஹீட்டர் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது, தூய்மையற்ற அளவுகள் ஒரு மில்லியனுக்கு 5 பாகங்களுக்கும் குறைவாக (பிபிஎம்) கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. கிராஃபைட் பின்னர் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) உடன் பூசப்படுகிறது, இது 99.99995% க்கும் அதிகமான தூய்மையின் அளவைப் பெருமைப்படுத்துகிறது. உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) செயல்முறைகளில் உகந்த செயல்திறனை அடைவதற்கு இன்றியமையாத தனித்தன்மை வாய்ந்த பண்புகளை இந்த பொருட்களின் கலவையானது ஹீட்டருக்கு வழங்குகிறது.

Semicorex MOCVD ஹீட்டரின் மிகவும் குறிப்பிடத்தக்க அம்சங்களில் ஒன்று அதன் விதிவிலக்கான இரசாயன தூய்மை ஆகும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கோர், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது மாசுபாடுகளின் அறிமுகத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, இது அதி-சுத்தமான மெல்லிய படங்களின் படிவுகளை உறுதி செய்கிறது. CVD SiC பூச்சு இந்த தூய்மையை மேலும் மேம்படுத்துகிறது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்குகளின் ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யக்கூடிய இரசாயன தொடர்புகளுக்கு எதிராக வலுவான தடையை வழங்குகிறது. உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு இந்த உயர்ந்த இரசாயனத் தூய்மை முக்கியமானது.

மேலும், ஹீட்டர் மிகவும் வலுவான மற்றும் வெப்ப திறன் கொண்டது, MOCVD செயல்முறைகளின் பொதுவான தீவிர வெப்ப நிலைகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. SiC இன் உள்ளார்ந்த பண்புகள், அதன் உயர் உருகுநிலை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் போன்றவை, வெப்பத்தை திறம்பட நிர்வகிக்கவும் விநியோகிக்கவும் ஹீட்டரின் திறனுக்கு பங்களிக்கின்றன. இந்த வெப்பத் திறன் அடி மூலக்கூறு முழுவதும் சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்கிறது, இது ஒரே மாதிரியான படப் படிவுகளை அடைவதற்கும் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்ப சாய்வுகளைக் குறைப்பதற்கும் அவசியம்.

Semicorex MOCVD ஹீட்டர் சிறந்து விளங்கும் மற்றொரு பகுதி மின் கடத்துத்திறன் ஆகும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கோர் சிறந்த மின் கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது, இது ஹீட்டர் அதிக மின் சுமைகளை எளிதில் கையாள அனுமதிக்கிறது. வெப்பநிலை மற்றும் படிவு விகிதங்கள் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் MOCVD செயல்முறைகளில் இந்த திறன் மிகவும் முக்கியமானது. அதிக சுமைகளின் கீழ் நிலையான மின் செயல்திறனை பராமரிக்க ஹீட்டரின் திறன் நிலையான மற்றும் மறுஉற்பத்தி செயல்முறை நிலைமைகளை உறுதி செய்கிறது, இது அதிக மகசூல் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு இன்றியமையாதது.

ஹீட்டரின் தட்டையான மேற்பரப்பு, அடி மூலக்கூறை நோக்கி அதிக உமிழ்வை வழங்கும் வகையில், கதிரியக்க வெப்பப் பரிமாற்றத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும் வகையில் உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த வடிவமைப்பு அம்சம், அடி மூலக்கூறு சீரான வெப்பத்தைப் பெறுவதை உறுதி செய்கிறது, இது நிலையான தடிமன் மற்றும் பண்புகளுடன் உயர்தர மெல்லிய படங்களை அடைவதற்கு முக்கியமானது. அதிக உமிழ்வு மேற்பரப்பு ஹீட்டரின் ஒட்டுமொத்த வெப்ப செயல்திறனுக்கும் பங்களிக்கிறது, ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் செயல்பாட்டு செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

ஆயுள் அடிப்படையில், Semicorex MOCVD ஹீட்டர் விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு, விஷத்தன்மையற்ற தன்மை மற்றும் உயர் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. CVD SiC பூச்சு MOCVD செயல்முறைகளில் பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களை எதிர்க்கும் ஒரு வலுவான பாதுகாப்பு அடுக்கை வழங்குகிறது. இந்த அரிப்பு எதிர்ப்பானது ஹீட்டரின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளை குறைக்கிறது. ஹீட்டரின் ஆக்சிஜனேற்றமின்மை, அது நிலையானதாக இருப்பதையும், அதிக வெப்பநிலையில் கூட சிதைவடையாமல் இருப்பதையும் உறுதிசெய்கிறது, நீண்ட செயல்பாட்டுக் காலங்களில் அதன் செயல்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாக்கிறது.

இறுதியாக, ஹீட்டரின் உயர் இயந்திர வலிமை, வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மற்றும் அடி மூலக்கூறு கையாளுதலுடன் தொடர்புடைய உடல் அழுத்தங்களைத் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த வலிமையானது இயந்திர செயலிழப்பு அபாயத்தை குறைக்கிறது, நம்பகமான மற்றும் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.