SiC பூச்சு ஹீட்டர்

Semicorex SiC கோட்டிங் ஹீட்டரின் நன்மைகள்

1. எதிர்வினை சூழலுக்கு எதிரான வலுவான பாதுகாப்பு

செமிகோரெக்ஸ் SiC கோட்டிங் ஹீட்டரின் CVD SiC பூச்சு MOCVD மற்றும் EPI செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் எதிர்வினை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு எதிராக வலுவான பாதுகாப்பை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதிக அடர்த்தி கொண்ட SiC பூச்சு ஒரு வலிமையான தடையாக செயல்படுகிறது, வெப்ப உறுப்பு சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கிறது. இந்த பாதுகாப்பு நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறன்

SiC பூச்சுகளின் விதிவிலக்கான வெப்ப பண்புகள் எங்கள் ஹீட்டர்களின் மேம்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கின்றன. சீர்குலைக்காமல் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் பூச்சு திறன், SiC பூச்சு ஹீட்டர் நீண்ட காலத்திற்கு அவற்றின் செயல்திறனைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை அடைவதற்கு இந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை முக்கியமானது, இது மேம்பட்ட சாதனத்தின் தரம் மற்றும் விளைச்சலுக்கு வழிவகுக்கிறது.

3. அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு

எங்கள் SiC பூச்சுகளின் மிக உயர்ந்த தூய்மையானது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதி செய்கிறது. 5ppm க்கும் குறைவான அசுத்தங்களுடன், எங்கள் பூச்சு குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை பாதிக்கக்கூடிய எந்த அசுத்தங்களையும் அறிமுகப்படுத்தாது. குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் தேவைப்படும் கடுமையான தரநிலைகளை பராமரிக்க இந்த உயர் தூய்மை அவசியம்.

4. உகந்த செயல்திறனுக்கான தனிப்பயனாக்கம்

வெவ்வேறு மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் பூச்சு தடிமன் ஆகியவற்றை வழங்க SiC பூச்சு செயல்முறையை வடிவமைக்கும் எங்கள் திறன், குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு எங்கள் ஹீட்டர்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்த அனுமதிக்கிறது. இந்த தனிப்பயனாக்கம் ஒவ்வொரு SiC கோட்டிங் ஹீட்டரும் அதன் நோக்கம் கொண்ட பயன்பாட்டிற்கு மிகவும் பொருத்தமானது என்பதை உறுதி செய்கிறது, இது உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.

5. ஆயுள் மற்றும் ஆயுள்

Semicorex SiC கோட்டிங் ஹீட்டரின் CVD SiC பூச்சுகளின் சிறந்த ஒட்டுதல் மற்றும் நீடித்து நிலைத்திருப்பது, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் கூட நீண்ட காலத்திற்கு அது பயனுள்ளதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த ஆயுள் அடிக்கடி மாற்றீடுகள் மற்றும் பராமரிப்பு தேவையை குறைக்கிறது, இது குறைந்த செயல்பாட்டு செலவுகள் மற்றும் மேம்பட்ட உற்பத்தித்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது. விரிசலுக்கு பூச்சுகளின் எதிர்ப்பானது அதன் நீண்ட ஆயுளை மேலும் அதிகரிக்கிறது, நிலையான பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்பாடுகள்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் ஹீட்டர், செமிகண்டக்டர் துறையில் பல்வேறு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் இன்றியமையாதது. இந்த ஹீட்டர்கள் குறிப்பாக முக்கியமானவை:

MOCVD செயல்முறைகள்: உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு என்பது கலவை குறைக்கடத்திகளை உருவாக்குவதில் ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும். இத்தகைய சூழல்களில், Semicorex SiC கோட்டிங் ஹீட்டரின் CVD SiC பூச்சு, ஹீட்டருக்கு வலுவான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, நிலையான மற்றும் நம்பகமான படிவுகளை உறுதி செய்கிறது.

EPI செயல்முறைகள்: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு எதிராக பாதுகாப்பு தேவைப்படுகிறது. எங்கள் SiC பூச்சு இந்த நிலைமைகளில் சிறந்து விளங்குகிறது, வெப்பமூட்டும் கூறுகளின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது.