SiC எரிவாயு விநியோக தட்டு

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கேஸ் டிஸ்ட்ரிபியூஷன் பிளேட் என்பது துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட சிவிடி எஸ்ஐசி-கோடட் கிராஃபைட் ஷவர்ஹெட் ஆகும், இது சீரான வாயு விநியோகம், உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி அமைப்புகளில் மாசு கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ், உலகெங்கிலும் உள்ள குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு மேம்பட்ட SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை வழங்குகிறது, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகள், அதி-உயர்-தூய்மை பொருட்கள் மற்றும் 8-இன்ச், 12-இன்ச் மற்றும் அடுத்த தலைமுறை செதில் செயலாக்க தளங்களுக்கு நம்பகமான உலகளாவிய விநியோகத்தை வழங்குகிறது.*

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில், வாயு ஓட்டம் சீரான தன்மை என்பது படத்தின் தரம், தடிமன் நிலைத்தன்மை மற்றும் செதில் விளைச்சலை பாதிக்கும் மிக முக்கியமான காரணிகளில் ஒன்றாகும். SiC வாயு விநியோகத் தட்டு, பெரும்பாலும் ஷவர்ஹெட் பிளேட் என்று குறிப்பிடப்படுகிறது, தீவிர செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் செயல்முறை வாயுக்களை சமமாக விநியோகிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

Semicorex SiC வாயு விநியோகத் தட்டுகள் 1400°Cக்கு மேல் இயங்கும் உயர் வெப்பநிலை சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி உலைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. உயர்-தூய்மை ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்பட்டு, அடர்த்தியாக பாதுகாக்கப்படுகிறதுஇரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, இந்த கூறுகள் விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு, மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் குறைக்கடத்தி சூழல்களை கோருவதில் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன.

CVD SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம்

SiC எரிவாயு விநியோக தகட்டின் முக்கிய நன்மை அதன் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் உள்ளது.

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகிறது. இந்த பூச்சு ஒரு அடர்த்தியான மற்றும் மிகவும் சீரான பாதுகாப்பு தடையை உருவாக்குகிறது, இது ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் கூறுகளின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

Semicorex CVD SiC production

பொதுவான பூச்சு பண்புகள் பின்வருமாறு:

பூச்சு தடிமன்: தோராயமாக 100 μm

அனுசரிப்பு தடிமன் வரம்பு: 40-200 μm

உயர் பூச்சு அடர்த்தி

சிறந்த தடிமன் சீரான தன்மை

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு வலுவான ஒட்டுதல்

அதி உயர் தூய்மை மேற்பரப்பு

CVD SiC அடுக்கு கிராஃபைட் அடிப்படைப் பொருளை எதிர்வினை செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து திறம்பட தனிமைப்படுத்துகிறது, அரிப்பு எதிர்ப்பையும் செயல்பாட்டு வாழ்நாளையும் வியத்தகு முறையில் மேம்படுத்துகிறது.

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாத்தல்

கிராஃபைட் அதன் சிறந்த வெப்ப பண்புகள் மற்றும் தீவிர வெப்பநிலையை தாங்கும் திறன் ஆகியவற்றின் காரணமாக எபிடாக்ஸி கருவிகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இருப்பினும், பாதுகாப்பற்ற கிராஃபைட், செயல்முறை வாயுக்களுக்கு நீண்ட கால வெளிப்பாட்டின் போது அரிப்பு மற்றும் இரசாயன தாக்குதலுக்கு ஆளாகிறது.

கிராஃபைட் சிதைவதால், அது செதில்களை மாசுபடுத்தும் மற்றும் சாதன விளைச்சலை எதிர்மறையாக பாதிக்கும் துகள்களை உருவாக்கலாம்.

CVD SiC பூச்சு பல பாதுகாப்பு செயல்பாடுகளை செய்கிறது:

எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு கிராஃபைட் நேரடியாக வெளிப்படுவதைத் தடுக்கிறது

துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது

இரசாயன பொறிப்பிற்கு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது

கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது

அறையின் தூய்மையை பராமரிக்கிறது

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இந்த பாதுகாப்பு பெருகிய முறையில் முக்கியமானது, அங்கு நுண்ணிய மாசுபாடு கூட தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும்.

துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் தனிப்பயனாக்கம்

Semicorex பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, பூச்சு சீரான தன்மை மற்றும் துளை வடிவியல் ஆகியவற்றின் மீது கடுமையான கட்டுப்பாட்டுடன் SiC எரிவாயு விநியோக தகடுகளை உற்பத்தி செய்கிறது.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள் அடங்கும்:

8 அங்குல உலை தளங்கள்

12 அங்குல உலை தளங்கள்

தனிப்பயன் விட்டம்

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட துளை வடிவங்கள்

பயன்பாடு சார்ந்த எரிவாயு விநியோக வடிவமைப்புகள்

மாறி பூச்சு தடிமன் தேவைகள்

சிறப்பு ஏற்ற அம்சங்கள்

இந்த நெகிழ்வுத்தன்மை பல்வேறு உலை கட்டமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளுக்கு மேம்படுத்தலை செயல்படுத்துகிறது.