SiC எபிடாக்ஸி ஏற்பி

SiC Epitaxy Susceptor என்பது MOCVD உபகரணங்களில் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை போன்ற அதன் உயர்ந்த செயல்திறன் அளவுருக்கள் எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன, மெல்லிய படப் பொருட்களில் அதிக அளவு சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

SiC Epitaxy Susceptor சிறந்த அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் பயனுள்ள பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. கூடுதலாக, அதன் உயர் மட்ட மேற்பரப்பு தட்டையானது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

SiC Epitaxy Susceptor இல் உள்ள வெப்ப விரிவாக்க வேறுபாடுகளின் குறைந்தபட்ச குணகம் எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறு மற்றும் பூச்சுப் பொருளுக்கு இடையேயான பிணைப்பு வலிமையை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, இதனால் அதிக வெப்பநிலை வெப்ப சுழற்சியை அனுபவித்த பிறகு விரிசல் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது.

அதே நேரத்தில், இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகிறது, சிப் வளர்ச்சிக்கு விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்குகிறது. மேலும், அதன் உயர் உருகுநிலை, வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நிலையான செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகின்றன.

MOCVD உபகரணங்களின் எதிர்வினை அறைக்குள் ஒரு முக்கிய அங்கமாக, SiC Epitaxy Susceptor உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சீரான வெப்ப கடத்துத்திறன், நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு வலுவான எதிர்ப்பு போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். Semicorex SiC Epitaxy Susceptor இந்தத் தேவைகள் அனைத்தையும் பூர்த்தி செய்கிறது.