SiC Epi-Wafer Susceptors

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட Semicorex SiC எபி-வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் உயர்-வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. உலகெங்கிலும் உள்ள வாடிக்கையாளர்களுக்கு மிக உயர்ந்த தரமான தயாரிப்புகள் மற்றும் சிறந்த சேவையை வழங்க Semicorex உறுதிபூண்டுள்ளது. வலுவான தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவம் மற்றும் நம்பகமான உற்பத்தி திறன்களுடன், உலகளாவிய பங்காளிகள் நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட கால மதிப்பை அடைய உதவுகிறோம்.*

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் மூலம் சிறந்த பொருள் பண்புகளை நிறுவாமல், மின்சார வாகனங்கள் (EVகள்) மற்றும் 5G ஆகியவற்றின் புரட்சிக்கு அவசியமான வைட் பேண்ட்கேப் (WBG) செமிகண்டக்டர்களை உங்களால் தயாரிக்க முடியாது. Semicorex SiC Epi-Wafer Susceptors ஆனது SiC மற்றும் GaN எபிடாக்ஸிக்கான அடித்தளமாக (வெப்ப/கட்டமைப்பு) பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கலவைஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்(சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்) இரசாயன நீராவி டெபாசிட்டட் (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (அதிக இரசாயன எதிர்ப்பு) ஒரு செயல்முறை தொகுப்பை அடைகிறது, இது அதிகபட்ச மகசூல் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்ய அனுமதிக்கிறது.

"சரியான" வெப்பச் சூழலின் பொறியியல்

வினைத்திறன் மற்றும் அரிக்கும் முன்னோடி வாயுக்களால் நிறைவுற்ற வளிமண்டலத்தில் போதுமான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வெப்பநிலையை (1,500 ° C க்கு மேல்) அடைய, ஒரு வழக்கமான கிராஃபைட் கேரியர் வெளிப்படும் போது சிதைந்து, அதனால் செதில் மாசுபடுத்தப்படும். இருப்பினும், Semicorex ஆல் உருவாக்கப்பட்ட SiC Epi-Wafer Susceptors, ஆயிரக்கணக்கான செயல்முறை மணிநேரங்களுக்கு எபிடாக்ஸி செயல்முறையை நிலையான தளத்துடன் வழங்க மேம்பட்ட பொருட்களின் ஒருங்கிணைப்பு மூலம் ஒரு தீர்வை அடைந்துள்ளது.

1. உயர்ந்த வெப்ப சீரான தன்மை

வெப்பப் பரப்பியாகச் செயல்படுவதே சசெப்டரின் முதன்மைப் பங்கு. எங்கள் உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் கோர் முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரு சீரான வெப்ப புலத்தை வழங்குகிறது. இது எபி-லேயர் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு ஆகியவற்றில் மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தும் "ஹாட் ஸ்பாட்களை" குறைக்கிறது. பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் உலகில், ஆர்டிஎஸ்(ஆன்) நிலைத்தன்மையே அரசாக இருக்கும், துணை மைக்ரோன் சீரான தன்மைக்குத் தேவையான வெப்பத் துல்லியத்தை எங்கள் சப்செப்டர்கள் வழங்குகின்றன.

2. ஹெர்மீடிக் சிவிடி எஸ்ஐசி என்காப்சுலேஷன்

அடர்த்தியான, மிகத் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளைப் பயன்படுத்த, அதிநவீன CVD செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்த அடுக்கு ஒரு மூடுதல் மட்டுமல்ல; அது ஒரு ஹெர்மீடிக் முத்திரை.

துகள் அடக்குமுறை: பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு "தூசி" அல்லது போரான் அல்லது உலோகத் தடயங்கள் போன்ற அசுத்தங்களை எதிர்வினை அறைக்குள் வெளியேற்றுவதைத் தடுக்கிறது.

இரசாயன செயலற்ற தன்மை: நமதுSiC பூச்சுMOCVD மற்றும் SiC Epitaxy உலைகளில் பொதுவாகக் காணப்படும் H2, HCl, மற்றும் அம்மோனியா (NH3) பொறிப்புகளுக்கு ஊடுருவாது.

3. துல்லிய CTE பொருத்தம்

பூசப்பட்ட வன்பொருளில் மிகவும் பொதுவான தோல்வி புள்ளிகளில் ஒன்று வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் காரணமாக நீக்கம் ஆகும். நாங்கள் குறிப்பாக கிராஃபைட் கிரேடுகளை தெர்மல் எக்ஸ்பான்ஷன் குணகம் (CTE) உடன் சரியாக ஒத்திசைக்கிறோம்.SiC பூச்சு. இந்த "விரிவாக்க ஒத்திசைவு" SiC Epi-Wafer Susceptors ஆனது, வேகமான ரேம்ப்-அப் மற்றும் ராம்ப்-டவுன் சுழற்சிகளை விரிசல் அல்லது உரிக்கப்படாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது, இது தொழில்துறை-தரமான மாற்றுகளுடன் ஒப்பிடும்போது கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை 300% வரை நீட்டிக்கிறது.

குளோபல் ரியாக்டர் பிளாட்ஃபார்ம்களுக்கு உகந்தது

எங்கள் பொறியியல் குழுவானது கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து அணுஉலை உள்ளமைவுகளுக்கு ஏற்பிகளை வடிவமைப்பதில் விரிவான அனுபவத்தைக் கொண்டுள்ளது. தொழில்துறையின் முன்னணி OEM அமைப்புகளுக்கு (AIXTRON, Veeco மற்றும் Tokyo Electron இயங்குதளங்கள் உட்பட) டிராப்-இன் மாற்றீடுகள் மற்றும் தனிப்பயன்-பொறியியல் தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

நீங்கள் ஒரு கிரக உலையை இயக்கினாலும் அல்லது ஒற்றை-செதில் கருவியாக இருந்தாலும், எங்கள் susceptors உகந்ததாக இருக்கும்:

வாயு ஓட்ட இயக்கவியல்:செதில் முழுவதும் லேமினார் ஓட்டத்தை உறுதி செய்ய துல்லியமாக இயந்திர பாக்கெட்டுகள்.

செதில் சுழற்சி:வளர்ச்சியின் போது நிலையான, அதிவேக சுழற்சிக்கான உகந்த எடை-உராய்வு விகிதங்கள்.

தானியங்கி கையாளுதல்:ரோபோடிக் செதில் பரிமாற்றத்தின் இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கும் வலுவூட்டப்பட்ட விளிம்புகள்.