SiC பூச்சு வளையம்

Semicorex SiC கோட்டிங் ரிங் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையமாகும், இது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிலிக்கான் கார்பைடு அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பிற்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது, இது எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகளுக்கு சிறந்த பூச்சு பொருளாக அமைகிறது. SiC பூச்சு ஒரு நீடித்த பாதுகாப்பு அடுக்கை வழங்குகிறது.

SiC பூச்சு வளையத்தின் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு அதன் உயர்ந்த வெப்ப பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டிற்காக கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது, மேலும் SiC பூச்சு ஒரு தடையற்ற பிணைப்பை உருவாக்க, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் வளையத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு உன்னிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SiC பூச்சு வளையத்தின் ஒரு முதன்மை நன்மை, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையைப் பராமரிக்கும் திறன் ஆகும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் பொதுவான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக எதிர்வினை சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. SiC பூச்சு ஒரு வலுவான தடையாக செயல்படுகிறது, ஆக்சிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் சிதைவு ஆகியவற்றிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாக்கிறது, இது மாசுபடுவதைத் தடுப்பதிலும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் தூய்மையை உறுதி செய்வதிலும் முக்கியமானது.

கூடுதலாக, SiC பூச்சு வளையத்தின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டின் போது குறைக்கடத்தி செதிலின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்க உதவுகிறது, இது நிலையான அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைவதற்கும் இறுதி குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கும் முக்கியமானது. இந்த உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்ப சாய்வுகளைக் குறைப்பதற்கும், குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைப்பதற்கும், உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது.

SiC பூச்சு வளையம் அதன் கடினமான மேற்பரப்பு காரணமாக உடைகள் மற்றும் இயந்திர சேதத்திற்கு பெரும் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது செதில் செயலாக்கத்தின் போது சிராய்ப்பு மற்றும் அரிப்பைத் தாங்கும். இந்த ஆயுள் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, மாற்றீடுகளின் தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது. இது குறைந்த பராமரிப்புச் செலவுகள் மற்றும் அதிகரித்த உற்பத்தித்திறனுடன் மிகவும் செலவு குறைந்த மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை விளைவிக்கிறது.

அதன் இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகளுக்கு கூடுதலாக, SiC பூச்சு வளையம் இரசாயன மந்தமானது. எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் எதிர்வினை இனங்களின் முன்னிலையில் கூட, SiC பூச்சு இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியில் இந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை முக்கியமானது.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும். அதன் நீடித்த SiC பூச்சு மற்றும் ஒரு நிலையான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றின் கலவையானது விதிவிலக்கான வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன பண்புகளை வழங்குகிறது. இந்த வளையம் எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல் உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கும் பங்களிக்கிறது. SiC பூச்சு வளையத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் உகந்த செயல்திறன், குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தித்திறனை உறுதி செய்யலாம்.