மின்னியல் சக் சீரான மின்னியல் வெளியேற்றம், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தித் துறையில் செதில் உறிஞ்சுதல் மற்றும் சரிசெய்தல் போன்ற பல செயல்பாடுகளை மேற்கொள்கிறது. ESC இன் முக்கிய செயல்பாடுகளில் ஒன்று, அதிக வெற்றிடம், வலுவான பிளாஸ்மா மற்றும் பரந்த வெப்பநிலை வரம்பு போன்ற தீவிர இயக்க நி......
மேலும் படிக்கஅதி-உயர் தூய்மை செதில்களின் தயாரிப்பில், செமிகண்டக்டர்களின் அடிப்படை பண்புகளை உறுதிப்படுத்த, செதில்கள் 99.999999999% க்கும் அதிகமான தூய்மைத் தரத்தை அடைய வேண்டும். முரண்பாடாக, ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் செயல்பாட்டு கட்டுமானத்தை அடைய, குறிப்பிட்ட அசுத்தங்கள் ஊக்கமருந்து செயல்முறைகள் மூலம் செதில்களின் மே......
மேலும் படிக்கபீங்கான் வெற்றிட சக்குகள் சீரான துளை அளவு விநியோகம் மற்றும் உள் இணைப்புடன் நுண்ணிய பீங்கான் பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. அரைத்த பிறகு, மேற்பரப்பு மென்மையானது மற்றும் நல்ல தட்டையானது. அவை சிலிக்கான், சபையர் மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு போன்ற குறைக்கடத்தி செதில்களின் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படு......
மேலும் படிக்கசெமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் வளர்ச்சி மற்றும் உற்பத்தியில் செதில் தேர்வு குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. வேஃபர் தேர்வு குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுக் காட்சிகளின் தேவைகளால் வழிநடத்தப்பட வேண்டும், மேலும் பின்வரும் முக்கியமான அளவீடுகளைப் பயன்படுத்தி கவனமாக மதிப்பீடு செய்யப்பட வேண்டும்.
மேலும் படிக்கஉலர் எச்சிங் கருவிகள் பொறிப்பதற்கு ஈரமான இரசாயனங்கள் பயன்படுத்துவதில்லை. இது முதன்மையாக சிறிய துளைகள் கொண்ட மேல் மின்முனையின் மூலம் அறைக்குள் ஒரு வாயு பொறியை அறிமுகப்படுத்துகிறது. மேல் மற்றும் கீழ் மின்முனைகளால் உருவாக்கப்படும் மின்சார புலம் வாயு எச்சனை அயனியாக்குகிறது, பின்னர் அது செதில் பொறிக்கப்ப......
மேலும் படிக்க