குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் என்றால் என்ன?

பிளாஸ்மா என்பது பொருளின் நான்காவது நிலை, மேலும் இது தொழில்துறை பயன்பாடுகள் மற்றும் இயற்கை நிகழ்வுகள் இரண்டிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, பிளாஸ்மா மின்னலில் உள்ளது மற்றும் சூரியனின் மேற்பரப்பில் ஏராளமாக உருவாக்கப்படுகிறது, அங்கு மைய வெப்பநிலை 13,500 ° C ஐ அடைகிறது. இந்த உயர் வெப்பநிலை பிளாஸ்மா பெரும்பாலான தொழில்துறை உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது அல்ல.

மறுபுறம், குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா என்பது செயற்கையாக உருவாக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா வடிவமாகும், இது வெப்பத்தை விட ஆற்றலைப் பயன்படுத்தி இரசாயன எதிர்வினைகளை துரிதப்படுத்துகிறது. அதன் வெப்பநிலை பொதுவாக அறை வெப்பநிலையிலிருந்து பல நூறு டிகிரி செல்சியஸ் வரை இருக்கும், இது பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

செயற்கை பிளாஸ்மாவை உருவாக்குவதற்கான படிகள்:

1. அறையில் அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும்: குழியில் உள்ள அழுத்தத்தைக் குறைக்க ஒரு வெற்றிடப் பம்பைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் தொடங்கவும். பிளாஸ்மாவை நிலைப்படுத்தவும் வாயு அயனியாக்கத்தை எளிதாக்கவும் குறைந்த அழுத்தத்தை அடைவது அவசியம்.

2. செயல்முறை வாயுவை அறிமுகப்படுத்துங்கள்: குறிப்பிட்ட செயல்முறை வாயுக்களை குழிக்குள் செலுத்துங்கள். இந்த வாயுக்கள் பிளாஸ்மாவில் உள்ள துகள்களின் முதன்மை ஆதாரமாக செயல்படுகின்றன.

3. பிளாஸ்மாவை உற்சாகப்படுத்துங்கள்: வாயுவை அயனியாக்க சக்தியைப் பயன்படுத்துங்கள், திறம்பட பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது.

4. பிளாஸ்மாவை செயலிழக்கச் செய்து வளிமண்டல அழுத்தத்தை மீட்டெடுக்கவும்: விரும்பிய எதிர்வினைகள் முடிந்ததும், பிளாஸ்மாவை அணைத்து, அறையை வளிமண்டல அழுத்தத்திற்குத் திரும்பவும்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மாவின் பயன்பாடுகள்:

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா இன்றியமையாதது, உலர் பொறித்தல், இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD), இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), அணு அடுக்கு படிவு (ALD), அயன் பொருத்துதல், சாம்பல் மற்றும் இறுதிப்புள்ளி கண்டறிதல் ஆகியவற்றில் முக்கியமான செயல்பாடுகளை வழங்குகிறது. அதன் பல்துறை மற்றும் செயல்திறன் அதை தொழில்துறையில் ஒரு அடிப்படை கருவியாக ஆக்குகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்பிளாஸ்மா செதுக்குவதற்கான உயர்தர தீர்வுகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com