மின்னியல் சக்கின் (ESC) அமைப்பு

அன்மின்னியல் சக் (ESC)செமிகண்டக்டர் செதில்களை பொறித்தல், படிதல் அல்லது மெருகூட்டுதல் போன்ற செயல்களின் போது இடத்தில் வைத்திருக்கப் பயன்படும் சாதனம் ஆகும். இது ஒரு மின்னியல் புலத்தை உருவாக்குவதன் மூலம் சக்கின் மேற்பரப்பில் செதில்களை ஈர்க்கவும் பாதுகாப்பாகவும் வைத்திருப்பதன் மூலம் செயல்படுகிறது, இது செதில் கையாளுதலின் போது நிலைத்தன்மையையும் துல்லியமான சீரமைப்பையும் வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செயல்முறை துல்லியம் மற்றும் செதில் கையாளும் திறனை மேம்படுத்த ESC கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

வழக்கமான ஒரு உண்மையான படம்மின்னியல் சக் (ESC)படத்தில் சித்தரிக்கப்பட்டுள்ளது. மாதிரிகளுக்கு இடையிலான முதன்மை வேறுபாடு மின்னியல் சக்கின் மேற்பரப்பில் உள்ள இன்சுலேடிங் லேயர் பொருளில் உள்ளது. படத்தில், இருண்ட நிறம் அலுமினியம் நைட்ரைடைக் குறிக்கிறது, அதே நேரத்தில் வெள்ளை நிறம் அலுமினியம் ஆக்சைடைக் குறிக்கிறது. என்ற அமைப்புமின்னியல் சக்பல பகுதிகளைக் கொண்டுள்ளது:

1. **இன்சுலேடிங் லேயர்**: இந்த அடுக்கு செதில்களுடன் தொடர்பில் உள்ளது, பொதுவாக அலுமினியம் நைட்ரைடு அல்லது அலுமினியம் ஆக்சைடு பீங்கான் அவற்றின் சிறந்த இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக செய்யப்படுகிறது.

2. **எஜெக்டர் பின் மற்றும் அவர் கேஸ் ஹோல்**: எஜெக்டர் முள் செதில்களை மாற்றும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செதில் செதுக்கும் அறைக்குள் நுழையும் போது, ​​எஜெக்டர் முள் அதை ஆதரிக்க உயர்கிறது, பின்னர் அது மின்னியல் சக்கின் மேற்பரப்பில் செதில் வைக்க குறைக்கிறது. எஜெக்டர் முள் பொதுவாக ஒரு வெற்று அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில்களை குளிர்விக்க உதவும் ஹீலியம் வாயுவை அறிமுகப்படுத்த அனுமதிக்கிறது.

3. **Back He Flow Channel**: இந்தக் கூறு வெப்பச் சிதறலை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் செதில்களின் உறிஞ்சுதலை எளிதாக்குகிறது.

4. **எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் எலக்ட்ரோடு**: இந்த மின்முனையானது மின்புலத்தை உருவாக்குகிறது, இது செதில்களை வைத்திருக்க தேவையான மின்னியல் சக்தியை உருவாக்குகிறது. பொதுவாக, மின்முனையானது பிளானர் மற்றும் இன்சுலேடிங் பொருளின் உள்ளே உட்பொதிக்கப்படுகிறது அல்லது டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் கடத்தும் பொருட்களில் அலுமினியம், தாமிரம் மற்றும் டங்ஸ்டன் ஆகியவை அடங்கும்.

5. **சுழற்சி குளிரூட்டும் நீர் மற்றும் வெப்பமூட்டும் மின்முனை**: மின்னியல் சக்கின் ஒட்டுமொத்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டிற்கு இந்த உறுப்புகள் முதன்மையாக பொறுப்பாகும். வெப்பமூட்டும் மின்முனை மற்றும் சுற்றும் குளிரூட்டும் நீர் ஆகியவை செதில் ஒரு நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிக்க இணைந்து செயல்படுகின்றன. குளிரூட்டும் நீரின் சுழற்சியை மட்டுமே நம்பியிருப்பது, பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தை நிர்வகிக்க இயலாமைக்கு வழிவகுக்கும், செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையை சமரசம் செய்யலாம்.  

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுமின்னியல் சக்(ESC). உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com