MOCVD செயல்முறைகளில் SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர்கள்

திசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுவிதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது பயனுள்ள எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது. படிவு செயல்முறை முழுவதும் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த இந்த நிலைத்தன்மை அவசியம், இது உற்பத்தி செய்யப்படும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இதன் விளைவாக,CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதில் அடிப்படையானவை.

MOCVD இன் கண்ணோட்டம்

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) குறைக்கடத்தி புனையலின் துறையில் ஒரு முக்கிய நுட்பமாக உள்ளது. இந்த செயல்முறையானது உலோக-கரிம சேர்மங்கள் மற்றும் ஹைட்ரைடுகளின் இரசாயன எதிர்வினை மூலம் ஒரு அடி மூலக்கூறு அல்லது செதில் மீது மெல்லிய படலங்கள் படிவதை உள்ளடக்கியது. எல்இடி, சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் டிரான்சிஸ்டர்களில் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்தியில் MOCVD முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்குகளின் கலவை மற்றும் தடிமன் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை இந்த முறை அனுமதிக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் தேவையான மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளை அடைவதற்கு அவசியம்.

MOCVD இல், எபிடாக்ஸி செயல்முறை மையமானது. எபிடாக்ஸி என்பது படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக அடுக்கின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் படிக அமைப்பைப் பிரதிபலிக்கிறது என்பதை உறுதி செய்கிறது. குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனுக்கு இந்த சீரமைப்பு முக்கியமானது, ஏனெனில் இது அவற்றின் மின் பண்புகளை பாதிக்கிறது. MOCVD செயல்முறை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை வழங்குவதன் மூலம், உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைய வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் வாயு ஓட்டத்தை உன்னிப்பாக நிர்வகிக்க முடியும்.

முக்கியத்துவம்சஸ்செப்டர்கள்மற்றும் MOCVD

MOCVD செயல்முறைகளில் சஸ்செப்டர்கள் இன்றியமையாத பங்கு வகிக்கின்றன. இந்த கூறுகள் படிவுகளின் போது செதில்கள் தங்கியிருக்கும் அடித்தளமாக செயல்படுகின்றன. உறிஞ்சியின் முதன்மை செயல்பாடு வெப்பத்தை உறிஞ்சி சமமாக விநியோகிப்பதாகும், இது செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்கிறது. வெப்பநிலை மாறுபாடுகள் குறைக்கடத்தி அடுக்குகளில் குறைபாடுகள் மற்றும் முரண்பாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் என்பதால், சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு இந்த சீரான தன்மை மிகவும் முக்கியமானது.

அறிவியல் ஆராய்ச்சி முடிவுகள்:

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகள் குறைக்கடத்திகள் மற்றும் ஒளியியல் எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகியவற்றில் மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் பூச்சுகளை தயாரிப்பதில் அவற்றின் முக்கியத்துவத்தை எடுத்துக்காட்டுகின்றன. SiC பூச்சு சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது MOCVD செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் பொதுவாகக் காணப்படும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களின் கீழும் கூட சசெப்டர் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பதை இந்த நிலைத்தன்மை உறுதி செய்கிறது.

CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்களின் பயன்பாடு MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. குறைபாடுகளைக் குறைப்பதன் மூலமும், அடி மூலக்கூறு தரத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், அதிக மகசூல் மற்றும் சிறப்பாக செயல்படும் செமிகண்டக்டர் சாதனங்களுக்கு இந்த சஸ்பெக்டர்கள் பங்களிக்கின்றன. உயர்தர குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், MOCVD செயல்முறைகளில் SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்களின் பங்கு பெருகிய முறையில் குறிப்பிடத்தக்கதாகிறது.

சஸ்செப்டர்களின் பங்கு

MOCVD இல் செயல்பாடு

சஸ்செப்டர்கள் MOCVD செயல்முறையின் முதுகெலும்பாக செயல்படுகின்றன, இது எபிடாக்ஸியின் போது செதில்களுக்கு ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது. அவை வெப்பத்தை உறிஞ்சி, செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்கின்றன, நிலையான வெப்பநிலை நிலைகளை உறுதி செய்கின்றன. உயர்தர குறைக்கடத்தி புனையலை அடைவதற்கு இந்த சீரான தன்மை முக்கியமானது. திCVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள், குறிப்பாக, அதன் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக இந்த பாத்திரத்தில் சிறந்து விளங்குகிறது. முழு கட்டமைப்பையும் சூடாக்குவதன் மூலம் பெரும்பாலும் ஆற்றல் விரயத்திற்கு வழிவகுக்கும் வழக்கமான சஸ்செப்டர்களைப் போலல்லாமல், SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் தேவைப்படும் இடங்களில் துல்லியமாக வெப்பத்தை மையப்படுத்துகின்றன. இந்த இலக்கு வெப்பமாக்கல் ஆற்றலைப் பாதுகாப்பது மட்டுமல்லாமல், வெப்பமூட்டும் கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீடிக்கிறது.

செயல்முறை செயல்திறன் மீதான தாக்கம்

என்ற அறிமுகம்SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகளின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளது. குறைபாடுகளைக் குறைப்பதன் மூலமும், அடி மூலக்கூறு தரத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், குறைக்கடத்தி புனையலில் அதிக விளைச்சலுக்கு இந்த சப்செப்டர்கள் பங்களிக்கின்றன. SiC பூச்சு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது கடினமான சூழ்நிலைகளிலும் கூட அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. இந்த ஆயுள் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் ஒரே மாதிரியாக வளர்வதை உறுதிசெய்கிறது, குறைபாடுகள் மற்றும் முரண்பாடுகளைக் குறைக்கிறது. இதன் விளைவாக, உற்பத்தியாளர்கள் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்க முடியும்.

ஒப்பீட்டு தரவு:

திறமையற்ற வெப்ப விநியோகம் காரணமாக வழக்கமான susceptors பெரும்பாலும் ஆரம்ப ஹீட்டர் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும்.

SiC பூசப்பட்ட MOCVD சஸ்செப்டர்கள்மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, ஒட்டுமொத்த செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

SiC பூச்சு

SiC இன் பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒரு தனித்துவமான பண்புகளை வெளிப்படுத்துகிறது, இது பல்வேறு உயர் செயல்திறன் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் விருப்பமான தேர்வாக அமைகிறது. SiC இன் இரசாயன செயலற்ற தன்மை, அரிக்கும் சூழல்களுக்கு வெளிப்படும் போதும் அது நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது MOCVD இல் எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் போது முக்கியமானது. இந்த பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது, இது செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்க இன்றியமையாதது.

அறிவியல் ஆராய்ச்சி முடிவுகள்:

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகள் அதன் குறிப்பிடத்தக்க உடல், இயந்திர, வெப்ப மற்றும் இரசாயன பண்புகளை எடுத்துக்காட்டுகின்றன. இந்த பண்புக்கூறுகள் கோரும் சூழ்நிலைகளில் அதன் பரவலான பயன்பாட்டிற்கு பங்களிக்கின்றன.

உயர் வெப்பநிலை சூழலில் SiC இரசாயன நிலைத்தன்மை அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் GaN எபிடாக்சியல் வளிமண்டலங்களில் சிறப்பாக செயல்படும் திறனை வலியுறுத்துகிறது.

SiC பூச்சுகளின் நன்மைகள்

விண்ணப்பம்சசெப்டர்களில் SiC பூச்சுகள்MOCVD செயல்முறைகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த தன்மையை மேம்படுத்தும் பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலையில் அரிப்பு மற்றும் சிதைவை எதிர்க்கும் கடினமான, பாதுகாப்பான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது. குறைக்கடத்தி புனையலின் போது CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டரின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க இந்த எதிர்ப்பு அவசியம். பூச்சு மாசுபாட்டின் அபாயத்தையும் குறைக்கிறது, எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் குறைபாடுகள் இல்லாமல் ஒரே மாதிரியாக வளர்வதை உறுதி செய்கிறது.

அறிவியல் ஆராய்ச்சி முடிவுகள்:

மேம்படுத்தப்பட்ட பொருள் செயல்திறனுக்கான SiC பூச்சுகள், இந்த பூச்சுகள் கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன என்பதை வெளிப்படுத்துகின்றன.

நன்மைகள்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்MOCVD செயல்முறைகளில் பொதுவாகக் காணப்படும் வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் சுழற்சி சுமைகளுக்குப் பொருட்கள் அவற்றின் பின்னடைவைக் காட்டுகின்றன.

வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் சுழற்சி சுமைகளைத் தாங்கும் SiC பூச்சுகளின் திறன் சஸ்செப்டரின் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்துகிறது. இந்த நீடித்தது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செலவு திறன் பங்களிப்பு. உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரிக்கும் போது, ​​MOCVD செயல்முறைகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதில் SiC பூச்சுகளின் பங்கு பெருகிய முறையில் குறிப்பிடத்தக்கதாகிறது.

SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர்களின் நன்மைகள்

செயல்திறன் மேம்பாடுகள்

SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் MOCVD செயல்முறைகளின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி புனையலில் பொதுவான கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்குவதை உறுதி செய்கின்றன. SiC பூச்சு அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு எதிராக ஒரு வலுவான தடையை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்ஸியின் போது செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முக்கியமானது. இந்த நிலைத்தன்மை படிவு செயல்முறையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது, இதன் விளைவாக குறைந்த குறைபாடுகளுடன் உயர்தர குறைக்கடத்தி பொருட்கள்.

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்செதில் முழுவதும் திறமையான வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்குகிறது. சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதற்கு இந்த சீரான தன்மை இன்றியமையாதது, இது இறுதி குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைக் குறைப்பதன் மூலம், SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர்கள் குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்க உதவுகின்றன, இது மேம்பட்ட சாதன நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது.

முக்கிய நன்மைகள்:

மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு

சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப விநியோகம்

குறைக்கடத்தி அடுக்குகளில் குறைபாடுகளின் ஆபத்து குறைக்கப்பட்டது

செலவு திறன்

பயன்பாடுCVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகளில் குறிப்பிடத்தக்க செலவு நன்மைகளையும் வழங்குகிறது. அவற்றின் ஆயுள் மற்றும் அணிய எதிர்ப்பு ஆகியவை சஸ்செப்டர்களின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது. இந்த நீண்ட ஆயுட்காலம் குறைந்த பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் குறைந்த வேலையில்லா நேரமாக மொழிபெயர்க்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் ஒட்டுமொத்த செலவு சேமிப்புக்கு பங்களிக்கிறது.

சீனாவில் உள்ள ஆராய்ச்சி நிறுவனங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களின் உற்பத்தி செயல்முறைகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்தியுள்ளன. இந்த முயற்சிகள் உற்பத்தி செலவைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் பூச்சுகளின் தூய்மை மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளன. இதன் விளைவாக, உற்பத்தியாளர்கள் மிகவும் சிக்கனமான விலை புள்ளியில் உயர்தர விளைவுகளை அடைய முடியும்.

மேலும், உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான அதிகரித்த தேவை SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர்களின் சந்தை விரிவாக்கத்திற்கு உந்துகிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களைத் தாங்கும் அவற்றின் திறன் மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது, மேலும் செலவு குறைந்த குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அவற்றின் பங்கை மேலும் உறுதிப்படுத்துகிறது.

பொருளாதார நன்மைகள்:

நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் மாற்று மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது

மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகள் உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கின்றன

அதிக செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களுக்கான தேவையால் உந்தப்பட்ட சந்தை விரிவாக்கம்

மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பீடு

மாற்று பொருட்கள்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் துறையில், பல்வேறு பொருட்கள் MOCVD செயல்முறைகளில் சஸ்செப்டர்களாக செயல்படுகின்றன. கிராஃபைட் மற்றும் குவார்ட்ஸ் போன்ற பாரம்பரிய பொருட்கள் அவற்றின் கிடைக்கும் தன்மை மற்றும் செலவு-செயல்திறன் காரணமாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிராஃபைட், அதன் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனுக்கு பெயர் பெற்றது, பெரும்பாலும் அடிப்படை பொருளாக செயல்படுகிறது. இருப்பினும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதற்கு தேவையான இரசாயன எதிர்ப்பை இது கொண்டிருக்கவில்லை. மறுபுறம், குவார்ட்ஸ் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, ஆனால் இயந்திர வலிமை மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையின் அடிப்படையில் குறைவாக உள்ளது.

ஒப்பீட்டு தரவு:

கிராஃபைட்: நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆனால் மோசமான இரசாயன எதிர்ப்பு.

குவார்ட்ஸ்: சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை ஆனால் இயந்திர வலிமை இல்லை.

நன்மை தீமைகள்

இடையே தேர்வுCVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்மற்றும் பாரம்பரிய பொருட்கள் பல காரணிகளை சார்ந்துள்ளது. SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, இது அதிக செயலாக்க வெப்பநிலையை அனுமதிக்கிறது. இந்த நன்மை குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் மேம்பட்ட விளைச்சலுக்கு வழிவகுக்கிறது. SiC பூச்சு சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது, இது எதிர்வினை வாயுக்களை உள்ளடக்கிய MOCVD செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெடர்களின் நன்மைகள்:

சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு

மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்

பாரம்பரிய பொருட்களின் தீமைகள்:

கிராஃபைட்: இரசாயனச் சிதைவுக்கு ஆளாகும்

குவார்ட்ஸ்: வரையறுக்கப்பட்ட இயந்திர வலிமை

சுருக்கமாக, கிராஃபைட் மற்றும் குவார்ட்ஸ் போன்ற பாரம்பரிய பொருட்கள் அவற்றின் பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கும் போது,CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகளின் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறனுக்காக தனித்து நிற்கின்றன. அவற்றின் மேம்பட்ட பண்புகள் உயர்தர எபிடாக்ஸி மற்றும் நம்பகமான குறைக்கடத்தி சாதனங்களை அடைவதற்கான விருப்பமான தேர்வாக அமைகின்றன.

SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகளை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதிகரித்த ஆயுட்காலம் மற்றும் நிலையான படிவு முடிவுகள் போன்ற குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை அவை வழங்குகின்றன. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் இந்த சஸ்செப்டர்கள் சிறந்து விளங்குகின்றன. எபிடாக்ஸியின் போது சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம், அவை உற்பத்தி திறன் மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்களின் தேர்வு கோரும் சூழ்நிலைகளில் உயர்தர விளைவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானதாகிறது. உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களைத் தாங்கும் திறன் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் அவற்றை இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.