வைட் பேண்ட்கேப் (WBG) குறைக்கடத்திகளான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மின்னனு சாதனங்களில் அதிக முக்கியப் பங்கு வகிக்கும் என எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் (Si) சாதனங்களை விட அவை பல நன்மைகளை வழங்குகின்றன, இதில் அதிக செயல்திறன், ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் மாறுதல் அ......
மேலும் படிக்கமுதல் பார்வையில், குவார்ட்ஸ் (SiO2) பொருள் கண்ணாடிக்கு மிகவும் ஒத்ததாகத் தெரிகிறது, ஆனால் சிறப்பு என்னவென்றால், சாதாரண கண்ணாடி பல கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது (குவார்ட்ஸ் மணல், போராக்ஸ், போரிக் அமிலம், பேரைட், பேரியம் கார்பனேட், சுண்ணாம்பு, ஃபெல்ட்ஸ்பார், சோடா சாம்பல் போன்றவை. , முதலியன), குவார்ட்ஸில் SiO2......
மேலும் படிக்ககுறைக்கடத்தி சாதனங்களின் புனையமைப்பு முதன்மையாக நான்கு வகையான செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது: (1) போட்டோலித்தோகிராபி (2) ஊக்கமருந்து உத்திகள் (3) ஃபிலிம் டெபாசிஷன் (4) எட்ச்சிங் டெக்னிக்ஸ் ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, அயன் பொருத்துதல், விரைவான வெப்பச் செயலாக்கம் (RTP), பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீரா......
மேலும் படிக்கசிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு செயல்முறை சிக்கலானது மற்றும் தயாரிப்பது கடினம். SiC அடி மூலக்கூறு தொழில் சங்கிலியின் முக்கிய மதிப்பை ஆக்கிரமித்துள்ளது, இது 47% ஆகும். எதிர்காலத்தில் உற்பத்தி திறன் விரிவாக்கம் மற்றும் விளைச்சல் மேம்பாடு ஆகியவற்றுடன், இது 30% ஆக குறையும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது......
மேலும் படிக்க