பீங்கான் ஹீட்டர்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முன்-இறுதி செயல்பாட்டில் (FEOL), திசெதில்பல்வேறு செயல்முறை சிகிச்சைகளுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும், குறிப்பாக செதுவை ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் சூடாக்க வேண்டும், மேலும் கடுமையான தேவைகள் உள்ளன, ஏனென்றால் வெப்பநிலையின் சீரான தன்மை தயாரிப்பு விளைச்சலில் மிக முக்கியமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது; அதே நேரத்தில், செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் வெற்றிடம், பிளாஸ்மா மற்றும் வேதியியல் வாயுக்கள் முன்னிலையில் வேலை செய்ய வேண்டும், இதற்கு பீங்கான் ஹீட்டர்களின் பயன்பாடு தேவைப்படுகிறது.பீங்கான் ஹீட்டர்கள்குறைக்கடத்தி மெல்லிய திரைப்பட படிவு கருவிகளின் முக்கிய கூறுகள். அவை செயல்முறை அறையில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் செதில் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான செயல்முறை வெப்பநிலையைப் பெறவும், மெல்லிய படங்களை உருவாக்க செதிலின் மேற்பரப்பில் அதிக துல்லியத்துடன் செயல்படவும் செதில்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளின்றன.

பீங்கான் ஹீட்டர்களால் பயன்படுத்தப்படும் மெல்லிய திரைப்பட படிவு உபகரணங்கள் அதிக வெப்பநிலையை உள்ளடக்கியிருப்பதால், முக்கியமாக அலுமினிய நைட்ரைடு (ALN) ஐ அடிப்படையாகக் கொண்ட பீங்கான் பொருட்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அலுமினிய நைட்ரைடு மின் காப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது; கூடுதலாக, அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சிலிக்கானுக்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் இது சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரு குறைக்கடத்தி கருவி கூறுகளாக பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானது.

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் (ESC கள்) முக்கியமாக பொறித்தல் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக அலுமினிய ஆக்சைடு (AL2O3). எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ஒரு ஹீட்டரைக் கொண்டிருப்பதால், உலர்ந்த பொறிப்பதை ஒரு எடுத்துக்காட்டு என எடுத்துக்கொள்வதால், ஒரு குறிப்பிட்ட பொறிப்பு சிறப்பியல்புகளை பராமரிக்க -70 ℃ ~ 100 in வரம்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் செதிலைக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். ஆகையால், செதில் வெப்பநிலையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் மூலம் செதுவை சூடாக்க வேண்டும் அல்லது கலைக்க வேண்டும். கூடுதலாக, செதில் மேற்பரப்பின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் பெரும்பாலும் ஒவ்வொரு வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு மண்டலத்தையும் ஒவ்வொரு வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு மண்டலத்தின் வெப்பநிலையையும் தனித்தனியாக கட்டுப்படுத்த செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்த வேண்டும். நிச்சயமாக, தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், பாரம்பரிய பீங்கான் ஹீட்டர்களுக்கும் மின்னியல் சக்ஸுக்கும் இடையிலான வேறுபாடு மங்கலாக மாறத் தொடங்கியது. சில பீங்கான் ஹீட்டர்கள் உயர் வெப்பநிலை வெப்பமாக்கல் மற்றும் மின்னியல் உறிஞ்சுதலின் இரட்டை செயல்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன.

பீங்கான் ஹீட்டரில் ஒரு பீங்கான் தளத்தை உள்ளடக்கியது, அது செதில் மற்றும் ஒரு உருளை ஆதரவு உடலைக் கொண்டுள்ளது. பீங்கான் தளத்தின் உள்ளே அல்லது மேற்பரப்பில், வெப்பத்திற்கான எதிர்ப்பு உறுப்பு (வெப்ப அடுக்கு) கூடுதலாக, ஒரு ரேடியோ அதிர்வெண் மின்முனையும் (ரேடியோ அதிர்வெண் அடுக்கு) உள்ளது. விரைவான வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டலை அடைவதற்கு, பீங்கான் அடித்தளத்தின் தடிமன் மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும், ஆனால் மிக மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும். ஹீட்டரின் ஆதரவு உடல் பொதுவாக அடித்தளத்தைப் போன்ற வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட ஒரு பொருளால் ஆனது, எனவே ஆதரவு உடல் பெரும்பாலும் அலுமினிய நைட்ரைடால் ஆனது. ஹீட்டர் கீழே ஒரு தண்டு (தண்டு) மூட்டின் தனித்துவமான கட்டமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது டெர்மினல்கள் மற்றும் கம்பிகளை பிளாஸ்மா மற்றும் அரிக்கும் வேதியியல் வாயுக்களின் விளைவுகளிலிருந்து பாதுகாக்க முடியும். ஹீட்டரின் சீரான வெப்பநிலையை உறுதிப்படுத்த ஆதரவு உடலில் ஒரு வெப்ப கடத்தல் வாயு நுழைவு மற்றும் கடையின் குழாய் வழங்கப்படுகிறது. அடிப்படை மற்றும் ஆதரவு உடல் வேதியியல் ரீதியாக ஒரு பிணைப்பு அடுக்குடன் பிணைக்கப்பட்டுள்ளன.

செமிகோரெக்ஸ் உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுபீங்கான் ஹீட்டர்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com