சமீபத்தில், Infineon டெக்னாலஜிஸ் உலகின் முதல் 300mm சக்தி காலியம் நைட்ரைடு (GaN) செதில் தொழில்நுட்பத்தின் வெற்றிகரமான வளர்ச்சியை அறிவித்தது.
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் மூன்று முதன்மை முறைகள், க்சோக்ரால்ஸ்கி (CZ) முறை, கைரோபோலோஸ் முறை மற்றும் மிதவை மண்டலம் (FZ) முறை.
பல்வேறு இரசாயனங்களுக்கு இடையே தடையாக செயல்படும் ஆக்சைடு அடுக்கு எனப்படும் செதில்களின் மீது ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குவதன் மூலம் இதுபோன்ற பிரச்சனைகளைத் தடுப்பதில் ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.
சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4) என்பது மேம்பட்ட உயர் வெப்பநிலை கட்டமைப்பு மட்பாண்டங்களின் வளர்ச்சியில் முக்கியப் பொருளாகும்.
பொறித்தல் செயல்முறை: சிலிக்கான் எதிராக சிலிக்கான் கார்பைடு
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், செதுக்கல் செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமானது. உயர்தர செதுக்கலை அடைவதில் ஒரு முக்கியமான காரணி, செயல்பாட்டின் போது தட்டில் செதில்கள் சரியாக தட்டையாக இருப்பதை உறுதி செய்வதாகும்.