செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கு வரும்போது, செமிகோரெக்ஸ் உயர்-வெப்பநிலை SiC-கோடட் பேரல் சஸ்செப்டர் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கான சிறந்த தேர்வாகும். அதன் உயர்தர SiC பூச்சு மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மிகவும் தேவைப்படும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் கூட பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் உயர்-வெப்பநிலை SiC-கோடட் பேரல் சஸ்செப்டர் ஒற்றை படிக வளர்ச்சி மற்றும் அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளுக்கு சரியான தேர்வாகும். அதன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த பாதுகாப்பு மற்றும் வெப்ப விநியோக பண்புகளை வழங்குகிறது, மிகவும் சவாலான சூழல்களிலும் நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
செமிகோரெக்ஸில், உயர்தர, செலவு குறைந்த உயர் வெப்பநிலை SiC-கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம், வாடிக்கையாளர் திருப்திக்கு முன்னுரிமை அளித்து, செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம். உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
உயர்-வெப்பநிலை SiC-கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
உயர்-வெப்பநிலை SiC-கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.