Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor என்பது உயர்-தூய்மை SiC உடன் பூசப்பட்ட ஒரு பிரீமியம் தரமான கிராஃபைட் தயாரிப்பு ஆகும், இது குறிப்பாக LPE செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன், இந்த தயாரிப்பு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் லேயர் உருவாக்கத்திற்கான உயர் செயல்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டரை நீங்கள் தேடுகிறீர்களானால், செமிகோரெக்ஸ் கார்பைடு-கோடட் ரியாக்டர் பேரல் சஸ்செப்டர் சிறந்த தேர்வாகும். அதன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த வெப்ப விநியோகம் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது, மிகவும் தேவைப்படும் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் கூட விதிவிலக்கான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
செமிகோரெக்ஸில், உயர்தர, செலவு குறைந்த கார்பைடு-பூசப்பட்ட அணு உலை பீப்பாய் சஸ்செப்டரை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம், வாடிக்கையாளர் திருப்திக்கு முன்னுரிமை அளித்து, செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம். உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
கார்பைடு-கோடட் ரியாக்டர் பேரல் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
கார்பைடு-கோடட் ரியாக்டர் பேரல் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.