Epitaxial Reactor Chamber க்கான Semicorex's SiC-Coated Susceptor Barrel என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் நம்பகமான தீர்வாகும், இதில் சிறந்த வெப்ப விநியோகம் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகள் உள்ளன. இது அரிப்பு, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பருக்கான செமிகோரெக்ஸின் SiC-கோடட் சஸ்செப்டர் பேரல் ஒரு பிரீமியம் தரமான தயாரிப்பு ஆகும், இது மிக உயர்ந்த துல்லியம் மற்றும் நீடித்த தன்மையுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது. இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பெரும்பாலான எபிடாக்சியல் உலைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பருக்கான எங்கள் SiC-கோடட் சஸ்செப்டர் பீப்பாய் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பருக்கான எங்களது SiC-கோடட் சஸ்பெப்டர் பீப்பாய் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பருக்கான SiC-கோடட் சஸ்பெப்டர் பீப்பாயின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பருக்கான SiC-கோடட் சஸ்பெப்டர் பேரலின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.