எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர்

ஆப்பிள்ications:செமிகோரெக்ஸால் உருவாக்கப்பட்ட எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர், குறிப்பாக பல்வேறு மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த கேரியர்கள் போன்ற சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது:

பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD):PECVD செயல்முறைகளில், எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் தின்-ஃபிலிம் டெபாசிஷன் செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறுகளைக் கையாளவும், சீரான தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும் அவசியம்.

சிலிக்கான் மற்றும் SiC எபிடாக்ஸி:சிலிக்கான் மற்றும் SiC எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்கு, மெல்லிய அடுக்குகள் அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர படிக அமைப்புகளை உருவாக்க, எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் தீவிர வெப்ப நிலைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) அலகுகள்:எல்.ஈ.டி மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் போன்ற கலவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது, MOCVD அலகுகளுக்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் செயல்முறைக்கு உள்ளார்ந்த ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கக்கூடிய கேரியர்கள் தேவைப்படுகின்றன.

நன்மைகள்:

அதிக வெப்பநிலையில் நிலையான மற்றும் சீரான செயல்திறன்:

ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ஆகியவற்றின் கலவையானது அதிக வெப்பநிலையில் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையை வழங்குகிறது. ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் அனைத்து திசைகளிலும் நிலையான பண்புகளை வழங்குகிறது, இது வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் பயன்படுத்தப்படும் எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு முக்கியமானது. SiC பூச்சு சீரான வெப்ப விநியோகத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, சூடான இடங்களைத் தடுக்கிறது மற்றும் நீண்ட காலத்திற்கு கேரியர் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட கூறு ஆயுள்:

SiC பூச்சு, அதன் கன படிக அமைப்புடன், அதிக அடர்த்தி கொண்ட பூச்சு அடுக்கில் விளைகிறது. இந்த அமைப்பு பொதுவாக PECVD, epitaxy மற்றும் MOCVD செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களுக்கு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரின் எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. அடர்த்தியான SiC பூச்சு அடிப்படை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை சிதைவிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, இதன் மூலம் கேரியரின் சேவை வாழ்க்கையை நீடிக்கிறது மற்றும் மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.

உகந்த பூச்சு தடிமன் மற்றும் கவரேஜ்:

Semicorex ஒரு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது 80 முதல் 100 µm வரை நிலையான SiC பூச்சு தடிமனை உறுதி செய்கிறது. இந்த தடிமன் இயந்திர பாதுகாப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் இடையே சமநிலையை அடைவதற்கு உகந்ததாகும். சிக்கலான வடிவவியல் கொண்ட பகுதிகள் உட்பட அனைத்து வெளிப்படும் பகுதிகளும் ஒரே மாதிரியாக பூசப்பட்டிருப்பதை தொழில்நுட்பம் உறுதி செய்கிறது, சிறிய, சிக்கலான அம்சங்களில் கூட அடர்த்தியான மற்றும் தொடர்ச்சியான பாதுகாப்பு அடுக்கை பராமரிக்கிறது.

உயர்ந்த ஒட்டுதல் மற்றும் அரிப்பு பாதுகாப்பு:

SiC பூச்சுடன் கிராஃபைட்டின் மேல் அடுக்கில் ஊடுருவி, எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் அடி மூலக்கூறுக்கும் பூச்சுக்கும் இடையில் விதிவிலக்கான ஒட்டுதலை அடைகிறது. இந்த முறை இயந்திர அழுத்தத்தின் கீழ் பூச்சு அப்படியே இருப்பதை உறுதி செய்வது மட்டுமல்லாமல், அரிப்பு பாதுகாப்பையும் அதிகரிக்கிறது. இறுக்கமாக பிணைக்கப்பட்ட SiC அடுக்கு ஒரு தடையாக செயல்படுகிறது, வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்கள் கிராஃபைட் மையத்தை அடைவதைத் தடுக்கிறது, இதனால் கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாட்டின் மூலம் கேரியரின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு பராமரிக்கப்படுகிறது.

சிக்கலான வடிவவியலைப் பூசுவதற்கான திறன்:

செமிகோரெக்ஸால் பயன்படுத்தப்படும் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பமானது, 1 மிமீ விட்டம் மற்றும் 5 மிமீக்கு மேல் ஆழம் கொண்ட சிறிய குருட்டு துளைகள் போன்ற சிக்கலான வடிவவியலில் SiC பூச்சுகளை சீரான முறையில் பயன்படுத்த அனுமதிக்கிறது. எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரின் விரிவான பாதுகாப்பை உறுதி செய்வதற்கு, பாரம்பரியமாக பூசுவதற்கு சவாலான பகுதிகளிலும், அதன் மூலம் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அரிப்பு மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கும் வகையில் இந்தத் திறன் முக்கியமானது.

உயர் தூய்மை மற்றும் நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட SiC பூச்சு இடைமுகம்:

சிலிக்கான், சபையர், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் பிற பொருட்களால் செய்யப்பட்ட செதில்களைச் செயலாக்குவதற்கு, SiC பூச்சு இடைமுகத்தின் உயர் தூய்மை ஒரு முக்கிய நன்மையாகும். எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரின் இந்த உயர்-தூய்மை பூச்சு மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட இடைமுகம் வெப்ப கடத்துத்திறன் அதிகரிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, எந்த குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப தடைகள் இல்லாமல் பூச்சு மூலம் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது.

ஒரு பரவல் தடையாக செயல்பாடு:

எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரின் SiC பூச்சு ஒரு பயனுள்ள பரவல் தடையாகவும் செயல்படுகிறது. இது அடிப்படை கிராஃபைட் பொருளில் இருந்து அசுத்தங்களை உறிஞ்சுதல் மற்றும் சிதைப்பதைத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் சுத்தமான செயலாக்க சூழலை பராமரிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இது மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு அசுத்தங்களின் நிமிட அளவுகள் கூட இறுதி தயாரிப்பின் மின் பண்புகளை கணிசமாக பாதிக்கலாம்.