Epi-SiC ஏற்பி

Semicorex Epi-SiC Susceptor உயர்-வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் உயர்ந்த வெப்ப பரவல் ஆகியவற்றின் சங்கமமாகும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முயற்சிகளுக்கு ஒத்த தீவிர நிலைமைகளை எதிர்கொள்வதில் பின்னடைவு மற்றும் செயல்திறனின் முன்னோடியாக உள்ளது. SiC பூச்சுகளின் பயன்பாடு Epi-SiC சஸ்செப்டரின் வெப்ப பண்புகளை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் செதில்கள் முழுவதும் சீரான, உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் படிவுக்கான முக்கிய, செதில்களின் வெப்பமாக்கலுக்கு அவசியமான சீரான வெப்ப விநியோகத்தை இந்த மேம்பாடு எளிதாக்குகிறது.

செதில் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் துல்லியமான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, Epi-SiC Susceptor உலை சூழலுக்குள் செதில்களின் தடையற்ற போக்குவரத்தை ஆதரிக்கிறது. அதன் வலுவான வடிவமைப்பு செதில் இடப்பெயர்ச்சி அல்லது சமரசத்திற்கு எதிரான ஒரு அரணாக உள்ளது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியின் முக்கியமான கட்டங்களில் சேதம் ஏற்படுவதைத் தணிக்கிறது. கூடுதலாக, Epi-SiC சஸ்செப்டர் கீழே உள்ள கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு ஒரு பாதுகாப்பு தடையாக செயல்படுகிறது, இது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் தூண்டக்கூடிய இரசாயன தொடர்புகள் மற்றும் சிராய்ப்பு ஆகியவற்றிலிருந்து பாதுகாக்கிறது.

ஒரு பாதுகாப்பான SiC பூச்சுடன் கூடிய மீள்தன்மையுடைய கிராஃபைட் மையத்தின் இணைவு Epi-SiC சஸ்செப்டரின் செயல்திறன் அளவீடுகளை மேம்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல், அதன் சேவைக்குரிய ஆயுளையும் கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. இதன் விளைவாக, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி நிறுவனங்களுக்கு நிலையான செயல்பாட்டு சேமிப்பு வடிவத்தில் ஈவுத்தொகையை அளிக்கும் முதலீடு, எபி-எஸ்ஐசி சஸ்செப்டரை தங்கள் உற்பத்தி செயல்பாடுகளை மேம்படுத்த விரும்புவோருக்கு நியாயமான தேர்வாக நிலைநிறுத்துகிறது.