CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் பூச்சுகளை குறைக்கடத்தி செதில்கள் அல்லது பிற அடி மூலக்கூறு பொருட்களில் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட படிவுக்கான உகந்த வெப்ப சூழலை உருவாக்க வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்ட கூறு ஆகும். இது ஒரு CVD அணு உலைக்குள் ஒரு முக்கியமான உறுப்பு ஆகும், இது வெப்ப மூலமாகவும், படிவு செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறுகளை வைத்திருக்கும் மற்றும் நிலைநிறுத்துவதற்கான தளமாகவும் செயல்படுகிறது.

நன்மைகள்:

துல்லியமான டெபாசிஷன்: CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் பூச்சுகளின் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் துல்லியமான படிவுகளை செயல்படுத்துகிறது, இது உயர்தர மற்றும் மறுஉருவாக்கம் செய்யக்கூடிய முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு: SiC பூச்சு சஸ்செப்டரில் இருந்தே மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைத்து, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருட்களின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

ஆயுட்காலம் மற்றும் ஆயுள்: SiC பூச்சு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு ஏற்பியின் எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது, அதன் நீண்ட ஆயுளுக்கும் நம்பகத்தன்மைக்கும் பங்களிக்கிறது.