செமிகோரெக்ஸ் சிவிடி எபிடாக்சியல் டெபாசிஷன் இன் பீப்பாய் அணுஉலை என்பது செதில் சில்லுகளில் எபிக்சியல் அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கு மிகவும் நீடித்த மற்றும் நம்பகமான தயாரிப்பு ஆகும். அதன் உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் தூய்மை செமிகண்டக்டர் தொழிலில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. அதன் வெப்ப சுயவிவரம், லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுப்பது ஆகியவை உயர்தர எபிக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சிக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.
பீப்பாய் உலையில் உள்ள எங்கள் CVD எபிடாக்சியல் டெபாசிஷன் என்பது தீவிர சூழல்களில் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்பு ஆகும். அதன் உயர்ந்த பூச்சு ஒட்டுதல், உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை கடுமையான சூழல்களில் பயன்படுத்த சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. கூடுதலாக, அதன் சீரான வெப்ப சுயவிவரம், லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுப்பது ஆகியவை எபிக்சியல் அடுக்கின் உயர் தரத்தை உறுதி செய்கின்றன.
Semicorex இல், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர, செலவு குறைந்த தயாரிப்புகளை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம். பீப்பாய் அணுஉலையில் உள்ள எங்களின் CVD எபிடாக்சியல் டெபாசிஷன் விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளுக்கு ஏற்றுமதி செய்யப்படுகிறது. நிலையான தரமான தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம், உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருப்பதை நாங்கள் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.
பீப்பாய் உலையில் CVD எபிடாக்சியல் டெபாசிஷனின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
பீப்பாய் உலையில் CVD எபிடாக்சியல் டெபாசிஷனின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.