அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விநியோக பண்புகளுடன், செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் பீப்பாய் அமைப்பு LPE செயல்முறைகள் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த சரியான தேர்வாகும். அதன் உயர் தூய்மையான SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் பீப்பாய் அமைப்பு, விதிவிலக்கான வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு தேவைப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் பயன்பாடுகளுக்கான தேர்வு ஆகும். அதன் உயர்-தூய்மை SiC பூச்சு மற்றும் உயர்ந்த அடர்த்தி மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிறந்த பாதுகாப்பு மற்றும் வெப்ப விநியோக பண்புகளை வழங்குகிறது, மிகவும் சவாலான சூழல்களில் கூட நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான எங்கள் பீப்பாய் அமைப்பு சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான எங்கள் பீப்பாய் அமைப்பைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான பீப்பாய் கட்டமைப்பின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான பீப்பாய் கட்டமைப்பின் அம்சங்கள்
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.