சிலிக்கான் கார்பைடு அறை மூடி

படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடி அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் என்பது சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் பெரிய அளவிலான உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். எங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு நல்ல விலை நன்மை உள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

ஒற்றை படிக வளர்ச்சி அல்லது MOCVD அல்லது செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு அறை மூடி அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது. ஆவியாகும் முன்னோடி வாயுக்கள், பிளாஸ்மா மற்றும் அதிக வெப்பநிலை ஆகியவற்றின் கலவையை அனுபவிக்க அவை நீடித்திருக்கும்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடி சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடியைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடியின் அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடியின் அம்சங்கள்

● அல்ட்ரா-பிளாட் திறன்கள்

● மிரர் பாலிஷ்

● விதிவிலக்கான குறைந்த எடை

● அதிக விறைப்பு

● குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்

● தீவிர உடைகள் எதிர்ப்பு

சூடான குறிச்சொற்கள்: சிலிக்கான் கார்பைடு சேம்பர் மூடி, சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை