அடுத்த தலைமுறை லித்தோகிராஃபி மற்றும் செதில்-கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது, செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-ப்யூர் செராமிக் கூறுகள் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதிசெய்து விதிவிலக்காக நீண்ட ஆயுட்கால செயல்திறனை வழங்குகின்றன. எங்கள் Wafer Vacuum Chuck ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் பீங்கான் வேஃபர் வெற்றிட சக் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும். MOCVD உபகரணங்களின் செமிகண்டக்டர் வேஃபர் வெற்றிட சக் கலவை வளர்ச்சியானது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கத்திற்கான மகசூல் நிர்வாகத்தை மேம்படுத்துகிறது. குறைந்த-மேற்பரப்பு-தொடர்பு உள்ளமைவுகள், உணர்திறன் பயன்பாடுகளுக்கான பின் பக்க துகள்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
Semicorex இல், உயர்தர, செலவு குறைந்த Wafer Vacuum Chuck வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம், வாடிக்கையாளர் திருப்திக்கு முன்னுரிமை அளித்து, செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம். உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
வேஃபர் வெற்றிட சக்கின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
வேஃபர் வெற்றிட சக்கின் அம்சங்கள்
● அல்ட்ரா-பிளாட் திறன்கள்
● மிரர் பாலிஷ்
● விதிவிலக்கான குறைந்த எடை
● அதிக விறைப்பு
● குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்
● Φ 300 மிமீ விட்டம் மற்றும் அதற்கு அப்பால்
● தீவிர உடைகள் எதிர்ப்பு