செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செதில் கையாளுதலின் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. நாங்கள் சீன செமிகண்டக்டர் துறையில் முன்னணி நிறுவனமாக இருக்கிறோம், உங்களுக்கு சிறந்த தயாரிப்புகள் மற்றும் சேவைகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம்.*
Semicorex Wafer Susceptor ஆனது கிராஃபைட்டிலிருந்து திறமையாக வடிவமைக்கப்பட்டு சிலிக்கான் கார்பைடுடன் (SiC) பூசப்பட்டு நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கோரும் நிலைமைகளை சந்திக்கிறது.
எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில், ஒரு நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை பராமரிப்பது முற்றிலும் அவசியம். உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கு வெப்பநிலை சீரான தன்மை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றிற்கான துல்லியமான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் போது, படிவுகளின் போது செதில்கள் வைக்கப்படும் அடித்தளமாக Wafer Susceptor செயல்படுகிறது.
வேஃபர் சஸ்செப்டருக்கான அடிப்படைப் பொருளாக கிராஃபைட்டின் தேர்வு அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர பண்புகளால் இயக்கப்படுகிறது. எபிடாக்ஸி உலைகளின் உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கும் போது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் கிராஃபைட்டின் திறன் முக்கியமானது. கூடுதலாக, கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் செதில் முழுவதும் திறமையான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்பநிலை சாய்வுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
வேஃபர் சஸ்செப்டரின் செயல்திறனை மேம்படுத்த, ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு திறமையாக கிராஃபைட் அடித்தளத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC என்பது உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்ட மிகவும் நீடித்த பொருளாகும், இது எதிர்வினை வாயுக்கள் அடிக்கடி இருக்கும் குறைக்கடத்தி சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக உள்ளது. SiC பூச்சு ஒரு பாதுகாப்பு தடையை வழங்குகிறது, இது சாத்தியமான இரசாயன எதிர்வினைகளிலிருந்து கிராஃபைட்டைக் காக்கிறது, செதில் உறிஞ்சியின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் உலைக்குள் சுத்தமான சூழலைப் பராமரிக்கிறது.
SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டால் செய்யப்பட்ட Semicorex Wafer Susceptor செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாகும். சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வேதியியல் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன் கிராஃபைட்டின் வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகளின் கலவையானது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது. ஒற்றை-செதில் வடிவமைப்பு எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது, உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது. செதில்கள் மிகுந்த கவனத்துடனும் துல்லியத்துடனும் கையாளப்படுவதை இந்த சப்செப்டர் உறுதி செய்கிறது, இதன் விளைவாக உயர்ந்த எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் மற்றும் சிறப்பாக செயல்படும் குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகள் கிடைக்கும்.