வேஃபர் கேரியர் தட்டு

செமிகோரெக்ஸ், செமிகண்டக்டர்-கிரேடு மட்பாண்டங்களை உங்கள் OEM செமி ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் மற்றும் செமிகண்டக்டர் தொழில்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகளை மையமாகக் கொண்ட செதில் கையாளும் கூறுகளை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக வேஃபர் கேரியர் ட்ரேயின் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் வேஃபர் கேரியர் ட்ரே நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி, அல்லது செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் போன்ற மெல்லிய ஃபிலிம் படிவு நிலைகளுக்கு மட்டுமின்றி, செமிகோரெக்ஸ் செதில்களை ஆதரிக்கும் அல்ட்ரா-ப்யூர் செராமிக் கேரியரை வழங்குகிறது. செயல்முறையின் மையத்தில், MOCVDக்கான வேஃபர் கேரியர் ட்ரே, முதலில் படிவு சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது.
எங்களின் வேஃபர் கேரியர் ட்ரே பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

வேஃபர் கேரியர் ட்ரேயின் அளவுருக்கள்

தொழில்நுட்ப பண்புகள்
குறியீட்டு	அலகு	மதிப்பு
பொருள் பெயர்		எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு	அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு	மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு
கலவை		RBSiC	SSiC	R-SiC
மொத்த அடர்த்தி	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
நெகிழ்வு வலிமை	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
அமுக்க வலிமை	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
கடினத்தன்மை	பொத்தான்	2700	2800	/
பிரேக்கிங் டெனாசிட்டி	MPa m1/2	4.5	4	/
வெப்ப கடத்துத்திறன்	W/m.k	95	120	23
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம்	10^-6.1/°C	5	4	4.7
குறிப்பிட்ட வெப்பம்	ஜூல்/கிராம் 0கே	0.8	0.67	/
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை	℃	1200	1500	1600
மீள் மாடுலஸ்	ஜி.பி.ஏ	360	410	240

SSiC மற்றும் RBSiC இடையே உள்ள வேறுபாடு:

1. சின்டரிங் செயல்முறை வேறுபட்டது. RBSiC என்பது குறைந்த வெப்பநிலையில் இலவச Si ஐ சிலிக்கான் கார்பைடுக்குள் ஊடுருவச் செய்வதாகும், SSiC ஆனது 2100 டிகிரியில் இயற்கையான சுருக்கத்தால் உருவாகிறது.

2. SSiC மென்மையான மேற்பரப்பு, அதிக அடர்த்தி மற்றும் அதிக வலிமை கொண்டது, மேலும் கடுமையான மேற்பரப்பு தேவைகள் கொண்ட சில சீல்களுக்கு, SSiC சிறப்பாக இருக்கும்.

3. வெவ்வேறு PH மற்றும் வெப்பநிலையின் கீழ் வெவ்வேறு நேரம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, SSiC RBSiC ஐ விட நீளமானது

வேஃபர் கேரியர் டிரேயின் அம்சங்கள்

- சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்.
- உயர் செயல்திறன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட திடமான கார்பனால் செய்யப்பட்ட வெப்ப காப்பு.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- பின்ஹோல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக ஆயுட்காலத்திற்கான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் கிடைக்கும் வடிவங்கள்:

● பீங்கான் கம்பி / பீங்கான் முள் / பீங்கான் உலக்கை

● பீங்கான் குழாய் / பீங்கான் புஷிங் / செராமிக் ஸ்லீவ்

● பீங்கான் வளையம் / பீங்கான் வாஷர் / செராமிக் ஸ்பேசர்

● பீங்கான் வட்டு

● பீங்கான் தட்டு / பீங்கான் தொகுதி

● பீங்கான் பந்து

● பீங்கான் பிஸ்டன்

● பீங்கான் முனை

● செராமிக் க்ரூசிபிள்

● பிற தனிப்பயன் செராமிக் பாகங்கள்