செதில் படகுகள்

உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SIC) இலிருந்து தயாரிக்கப்படும் செமிகோரெக்ஸ் செதில் படகுகள் குறைக்கடத்திகளின் புனையலில் அவசியமான கூறுகள். அவை பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பொதுவாக பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் எல்பிசிவிடி செயல்முறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்கள் அடங்கும். SIC WAFER படகுகளின் பயன்பாடு வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் எதிர்ப்பை அதிகரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உகந்த மகசூல் மற்றும் சாதன செயல்திறனுக்காக செயலாக்கத்தின் போது சிலிக்கான் செதில்களின் உகந்த ஆதரவு, சீரமைப்பு மற்றும் போக்குவரத்துக்கு அனுமதிக்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு ஒரு சிறந்த வெப்ப கடத்தும் பீங்கான் என நன்கு ஆவணப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, இது உயர் இயந்திர வலிமை மற்றும் உயர்ந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் எச்.எஃப் மற்றும் எச்.சி.எல் போன்ற வேதிப்பொருட்களுடன் ஆக்கிரமிப்பு வேதியியல் எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி புனையல் செயல்முறைகளுக்கும் உயர் வெப்பநிலை சூழல்களுக்கும் செதில் படகுகளுக்கான பொருளாக SIC இன் பண்புகள் குறிப்பாக கவர்ச்சிகரமானவை. SIC செதில் படகுகள்> 1500 ° C இன் செயல்முறை வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், இது முக்கியமான வெப்ப சிகிச்சையில் செதில்களை அசைப்பது அல்லது மாசுபடுத்தும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

ஒவ்வொரு sicசெதில் படகுமேம்பட்ட பீங்கான் உருவாக்கம் மற்றும் சின்தேரிங் செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி உயர் தூய்மை SIC இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, மேலும் விரிவான அளவிலான செதில் விட்டம் (100 மிமீ, 150 மிமீ, 200 மிமீ, 300 மிமீ) மற்றும் செங்குத்து அல்லது கிடைமட்டமாக இருந்தாலும் உள்ளமைவுகளை அடுக்கி வைப்பது. எங்கள் SIC WAFER படகுகள் மென்மையான மேற்பரப்புகள் மற்றும் சிறந்த தட்டையான தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, இது துகள் உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது மற்றும் தானியங்கி வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது.

மாசுபடுத்தும் கட்டுப்பாடு மற்றும் மகசூல் நவீன நாள் FAB களில் மிக முக்கியமான இரண்டு சிக்கல்களாகும். SIC WAFER கேரியர்களின் தூய்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவை தயாரிப்பு தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையின் செயல்முறை செயல்திறனை பாதிக்கின்றன.  SIC WAFER படகுகள் பயன்பாட்டிற்கு மிகச் சிறந்த நீண்ட ஆயுளைக் கொண்டுள்ளன, குறைவான பராமரிப்பு தேவைகள் மற்றும் குவார்ட்ஸ் அல்லது அலுமினா அடிப்படையிலான மாற்றுகளை விட TCO ஐக் கொண்டுள்ளன. சிறந்த நீண்ட ஆயுள் என்பது மைக்ரோ-துகள் உதிர்தலில் குறைவான சிக்கல்களைக் குறிக்கிறது, எனவே மீண்டும், செதில் மேற்பரப்பின் தூய்மையை பாதிக்கிறது மற்றும் சுத்தமான அறை தூய்மையை பாதிக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி வேஃபர் படகுகளை வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்வதில் கவனம் செலுத்துகிறது, அவை குறைந்த மாசு வளிமண்டலத்துடன் இணைந்து அதிக தூய்மை மூலப்பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றன.  குறைந்த தூய்மையற்ற நிலைகளை பராமரிக்கவும், குறைந்த மதிப்பில் போரோசிட்டியை பராமரிக்கவும், சீரான நுண் கட்டமைப்பை பராமரிக்கவும் நாங்கள் எல்லா முயற்சிகளையும் செய்கிறோம், எனவே அணியின் பணி தொடர்ந்து சீரான வெப்ப பண்புகள், துல்லியமான செதில் இடைவெளி மற்றும் நிகரற்ற வேதியியல் சீரழிவு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை அனுபவிக்க முடியும்.

செமிகோரெக்ஸ் sicசெதில் படகுகள்குறைக்கடத்திகளின் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் அவசியமான உறுப்பு. உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பிட் வேஃபர் படகுகள் இணையற்ற பொருள் பண்புகள், பொறியியலாளர் சிறப்புகள் மற்றும் மைக்ரோ-மாசு-இலவச மனோபாவம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, அவை அதிக செயல்திறன் கொண்ட செதில் புனையலுக்கான உயர் மட்ட தேர்வாக அமைகின்றன. உங்கள் மிகவும் பணி சிக்கலான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்க செமிகோரெக்ஸ் நம்பகத்தன்மை மற்றும் புதுமையான உயர் செயல்திறனை வழங்குகிறது.