செமிகோரெக்ஸ் செங்குத்து / நெடுவரிசை மற்றும் கிடைமட்ட உள்ளமைவுகளுக்கு செதில் படகுகள், பீடங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் செதில் கேரியர்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். செமிகண்டக்டர் செயல்முறைக்கான எங்கள் வேஃபர் படகு ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
செமிகண்டக்டர் செயல்முறைக்கான Semicorex SiC வேஃபர் படகு, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் கையாளுதல் மற்றும் பாதுகாப்பிற்கான இறுதி தீர்வு. குறைக்கடத்தி செயல்முறைக்கான எங்கள் செதில் படகு உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது அரிப்புக்கு நல்ல எதிர்ப்பையும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் பிளாஸ்மா நீடித்த தன்மையை வழங்குகின்றன, அதே நேரத்தில் அதிக திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்களுக்கான துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை குறைக்கின்றன.
செமிகண்டக்டர் செயல்முறைக்கான வேஃபர் படகின் அளவுருக்கள்
தொழில்நுட்ப பண்புகள் |
||||
குறியீட்டு |
அலகு |
மதிப்பு |
||
பொருள் பெயர் |
எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு |
அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு |
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு |
|
கலவை |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
நெகிழ்வு வலிமை |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
அமுக்க வலிமை |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
கடினத்தன்மை |
பொத்தான் |
2700 |
2800 |
/ |
பிரேக்கிங் டெனாசிட்டி |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
குறிப்பிட்ட வெப்பம் |
ஜூல்/கிராம் 0கே |
0.8 |
0.67 |
/ |
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
மீள் மாடுலஸ் |
ஜி.பி.ஏ |
360 |
410 |
240 |
செமிகண்டக்டர் செயல்முறைக்கான வேஃபர் படகின் அம்சங்கள்
சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூசப்பட்டது
இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.