டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள்

வழிகாட்டி வளையங்கள் பொதுவாக வெப்ப புல அமைப்பிற்குள் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் மேலே நிறுவப்பட்டிருக்கும். அவை க்ரூசிபிள், ஹீட்டர் மற்றும் வெப்ப காப்பு உருளை மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி கூறுகளுடன் இணைந்து வெப்ப மற்றும் செயல்முறை வாயுக்களின் விநியோகத்தை வழிநடத்தவும் கட்டுப்படுத்தவும் செயல்படுகின்றன.

ஏநன்மைகள்டிஅண்டலம் கார்பைடு பூச்சு

சிறந்த செயல்திறனுக்காக பெயர் பெற்றவர்TaC பூச்சுமூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளில், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பின்வரும் நன்மைகளை வழங்குகிறது:

1. விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை

டான்டலம் கார்பைடு 3880℃ அதி-உயர் உருகுநிலையுடன், சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இந்த விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன், செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்களை 2500℃ க்கும் குறைவான உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் நிலையான முறையில் பயன்படுத்தலாம். கூடுதலாக, இந்த இரண்டு பொருட்களின் கலவையானது வெப்பநிலை மாற்றங்களால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல் மற்றும் உரித்தல் ஆகியவற்றின் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, இது மீண்டும் மீண்டும் வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டும் செயல்முறைகளின் போது கூறுகளின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை கணிசமாக செயல்படுத்துகிறது.

2.குறிப்பிடத்தக்க அரிப்பு எதிர்ப்பு

டான்டலம் கார்பைடு குறிப்பிடத்தக்க அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலிக்கான் போன்ற பெரும்பாலான எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது. இந்த இரசாயன நிலைத்தன்மையின் காரணமாக, செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள், வினைத்திறன் வாயுக்கள் மேட்ரிக்ஸை அரித்து, அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சேதப்படுத்துவதைத் தடுக்கின்றன, அதே நேரத்தில் படிகக் கட்டமைப்பிற்குள் நுழையும் எதிர்வினைகள் மற்றும் அசுத்தங்களிலிருந்து மாசுபடும் அபாயத்தைத் தவிர்க்கின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்களின் செயல்திறன்

செமிகோரெக்ஸ்டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள்உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டை மேட்ரிக்ஸாகப் பயன்படுத்தவும் மற்றும் CVD தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் மேற்பரப்பில் TaC பூச்சுகளை டெபாசிட் செய்யவும். இந்த இரண்டு பொருட்களின் கலவையானது செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள் பின்வரும் நன்மைகளை வழங்க உதவுகிறது:

1.எரிவாயு ஓட்டம் வழிகாட்டுதல் மற்றும் ஓட்ட புலம் மேம்படுத்துதல்

படிக வளர்ச்சியின் போது, ​​வழிகாட்டி வளையங்களின் பயன்பாடு வெப்பப் புலத்தில் ஓட்ட விநியோகத்தை மேம்படுத்த உதவுகிறது மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய ஓட்ட திசை மற்றும் சீரான விநியோகத்தை நோக்கி எதிர்வினை வாயுக்களை வழிநடத்துகிறது. அவற்றின் சிறப்பு கட்டமைப்பு வடிவமைப்பிற்கு நன்றி, செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள் வாயு ஓட்டம் மற்றும் சீராக விநியோகிக்க வழிகாட்டும், இது அதிகப்படியான அதிக அல்லது குறைந்த உள்ளூர் வாயு செறிவுகளை திறம்பட தவிர்க்கிறது.

2.வெப்பநிலை ஒழுங்குமுறை மற்றும் வெப்ப புல உகப்பாக்கம்

செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகின்றன, வெப்பநிலை விநியோகத்தை ஒழுங்குபடுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன மற்றும் படிக வளர்ச்சிக்கு நிலையான வெப்பநிலை புலத்தை வழங்குகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு-பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் PVT வளர்ச்சியில் வெப்பநிலை சாய்வை பராமரிக்க உதவுகின்றன, இது பொருட்கள் சிதைந்து, போக்குவரத்து மற்றும் பொருத்தமான சூழ்நிலையில் படிகமாக்குவதை உறுதி செய்கிறது.