TaC பூசப்பட்ட சிலுவை

CVD Tac பூசப்பட்ட க்ரூசிபிளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, இது செமிகண்டக்டர் உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் அதிக தரம் மற்றும் செயல்திறனைக் கோரும் பயனர்களுக்கு சரியான தீர்வாகும். எங்கள் சிலுவைகள் அதிநவீன சிவிடி டாக் (டான்டலம் கார்பைடு) அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளன, இது அரிப்பு மற்றும் தேய்மானத்திற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது பல்வேறு குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

உயர்தர பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டு, மிகவும் மேம்பட்ட CVD Tac தொழில்நுட்பத்துடன் பூசப்பட்ட, எங்கள் சிலுவைகள் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகின்றன. CVD Tac பூச்சு மிகவும் சீரான, அடர்த்தியான அடுக்கை வழங்குகிறது, இது இரசாயன தாக்குதல், சிராய்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கிறது. இது எங்கள் சிலுவைகள் மீண்டும் மீண்டும் பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் அவற்றின் வடிவத்தையும் பரிமாணங்களையும் பராமரிப்பதை உறுதிசெய்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையைக் குறைக்கிறது.

எங்கள் CVD Tac பூசப்பட்ட க்ரூசிபிள்கள் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுடன் மிகவும் இணக்கமாக உள்ளன. நீங்கள் மைக்ரோசிப்கள், சோலார் செல்கள் அல்லது பிற குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்தாலும், எங்கள் க்ரூசிபிள்கள் உங்களுக்கு உகந்த முடிவுகளை அடைய உதவும்.

TaC பூச்சு அளவுருக்கள்

திட்டங்கள்	அளவுருக்கள்
அடர்த்தி	14.3 (gm/cm³)
உமிழ்வு	0.3
CTE (×10^-6/கே)	6.3
கடினத்தன்மை (HK)	2000
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.)	1×10^-5
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம்	-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு)
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள்