TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
உமிழ்வு |
0.3 |
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
செமிகோரெக்ஸ் TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட், குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் மேம்பட்ட உயர் தூய்மை பொருள். இந்த முக்கியமான உபகரணமானது ஒற்றை படிக SiC வளர்ச்சியின் செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புதொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்களை வழங்க விரும்புகிறோம். குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான அதிநவீன தீர்வான CVD Tac Coated Ring ஐ அறிமுகப்படுத்துகிறது. இந்த அதிநவீன தயாரிப்பு ஒரு மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) பூச்சுகளை கொண்டுள்ளது, இது விதிவிலக்கான நீடித்துழைப்பு மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் கிழிக்க எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புCVD Tac பூசப்பட்ட க்ரூசிபிளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, இது செமிகண்டக்டர் உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் அதிக தரம் மற்றும் செயல்திறனைக் கோரும் பயனர்களுக்கு சரியான தீர்வாகும். எங்கள் சிலுவைகள் அதிநவீன சிவிடி டாக் (டான்டலம் கார்பைடு) அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளன, இது அரிப்பு மற்றும் தேய்மானத்திற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது பல்வேறு குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு