TaC பூச்சு சஸ்செப்டர்

TaC (டான்டலம் கார்பைடு) பூச்சு சஸ்செப்டர், மெட்டீரியல் இன்ஜினியரிங்கில் ஒரு உச்சத்தை பிரதிபலிக்கிறது, இது உயர்தர கிராஃபைட்டிலிருந்து உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் பலப்படுத்தப்பட்டுள்ளது. முதன்மையாக SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்குள் வேலைவாய்ப்பிற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இந்த புதுமையான கூறு தீவிர வெப்ப மற்றும் இரசாயன சூழல்களில் ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனின் கலங்கரை விளக்கமாக உள்ளது.

TaC பூச்சு பன்முக நோக்கங்களுக்காக உதவுகிறது, கிராஃபைட் கூறுகளின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, அதே நேரத்தில் எதிர்வினைகளின் ஸ்டோச்சியோமெட்ரியை உன்னிப்பாகப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் போது தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வைத் தணிக்கிறது. எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் மற்றும் படிக வடிவங்களில் தூய்மையற்ற ஊடுருவலுக்கு எதிராக பாதுகாப்பதன் மூலம், TaC பூச்சு சஸ்பெக்டர் மகசூல் விகிதங்கள் மற்றும் தரமான விளைவுகளை மேம்படுத்துகிறது.

இந்த செயல்முறைகளுக்கு உள்ளார்ந்த கொப்புள வெப்பநிலையைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்ட, TaC கோட்டிங் சஸ்பெப்டர் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, 2200°Cக்கு அதிகமான சூழல்களில் கூட உறுதியாக உள்ளது. இந்த இணையற்ற மீள்தன்மை தீவிர வெப்பத்தை எதிர்கொள்வதில் தடையற்ற செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, சமரசம் இல்லாமல் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது.

TaC பூச்சு சஸ்செப்டரின் வலுவான கட்டுமானமானது ஹைட்ரஜன் (H2), அம்மோனியா (NH3), சிலேன் (SiH4) மற்றும் சிலிக்கான் (Si) ஆகியவற்றின் அரிக்கும் விளைவுகளுக்கு ஊடுருவாது, அதன் மூலம் கடுமையான இரசாயன சூழல்களின் கடுமைக்கு எதிராக ஒரு பாதுகாப்புத் தடையை வழங்குகிறது. கடுமையான இரசாயன இணக்கத்தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில் இந்த பண்பு ஒரு தவிர்க்க முடியாத சொத்தாக ஆக்குகிறது, மிகவும் தேவைப்படும் நிலைமைகளின் கீழ் செயல்பாட்டு ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

மேலும், TaC Coating Susceptor மிக உயர்ந்த தூய்மையைக் கொண்டுள்ளது, செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யக்கூடிய புறம்பான அசுத்தங்கள் அல்லது அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கு நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் அதி-உயர் தூய்மையான கலவையானது, தயாரிப்பு தரம் மற்றும் மகசூல் மேம்படுத்துதலை உறுதி செய்வதில் அதன் இன்றியமையாத பங்கை அடிக்கோடிட்டு, மிகுந்த தூய்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.