TaC பூச்சு வேஃபர் சஸ்பெப்டர்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையில் Semicorex TaC பூச்சு வேஃபர் சஸ்பெப்டர் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட, இந்த சஸ்பெக்டர் உயர்தர கிராஃபைட்டிலிருந்து கட்டப்பட்டது, நீடித்த மற்றும் நிலையான கட்டமைப்பை வழங்குகிறது, மேலும் டான்டலம் கார்பைடு அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளது. இந்த பொருட்களின் கலவையானது, TaC கோட்டிங் வேஃபர் சஸ்செப்டர் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் SiC எபிடாக்சியில் உள்ள வினைத்திறன் சூழல்களை தாங்கக்கூடியது என்பதை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரத்தையும் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

செமிகண்டக்டர் துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒரு முக்கியமான பொருளாகும், குறிப்பாக பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் RF சாதனங்கள் போன்ற அதிக சக்தி, அதிக அதிர்வெண் மற்றும் தீவிர வெப்ப நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில். SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​TaC பூச்சு வேஃபர் சஸ்செப்டர் அடி மூலக்கூறை பாதுகாப்பாக இடத்தில் வைத்திருக்கிறது, இது செதில்களின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு இந்த வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை இன்றியமையாதது, ஏனெனில் இது படிக வளர்ச்சி விகிதம், சீரான தன்மை மற்றும் குறைபாடு அடர்த்தி ஆகியவற்றை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

TaC பூச்சு மாசுபாட்டைக் குறைக்கும் மற்றும் வெப்ப மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை மேம்படுத்தும் ஒரு நிலையான, மந்தமான மேற்பரப்பை வழங்குவதன் மூலம் சசெப்டரின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. இது SiC எபிடாக்ஸிக்கான தூய்மையான, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை உருவாக்குகிறது, இது சிறந்த செதில் தரம் மற்றும் அதிக மகசூலுக்கு வழிவகுக்கிறது.

உயர்தர SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சி தேவைப்படும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த TaC கோட்டிங் வேஃபர் சஸ்பெப்டர் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த செயல்முறைகள் பொதுவாக பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், RF சாதனங்கள் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை கூறுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு SiC இன் உயர்ந்த வெப்ப மற்றும் மின் பண்புகள் சிலிக்கான் போன்ற பாரம்பரிய குறைக்கடத்தி பொருட்களை விட குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை வழங்குகின்றன.

குறிப்பாக, TaC Coating Wafer Susceptor ஆனது உயர்-வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உலைகளில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. நிலையான, நம்பகமான முடிவுகளை வழங்குவதற்கான அதன் திறன் அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக அமைகிறது.

Semicorex TaC பூச்சு வேஃபர் சஸ்பெப்டர் SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி துறையில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. டான்டலம் கார்பைட்டின் வெப்ப மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை கிராஃபைட்டின் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையுடன் இணைப்பதன் மூலம், இந்த சஸ்பெக்டர் அதிக வெப்பநிலை, அதிக அழுத்த சூழல்களில் இணையற்ற செயல்திறனை வழங்குகிறது. SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரத்தை மேம்படுத்தும் அதன் திறன், மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்கிறது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களைத் தயாரிக்க விரும்பும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு ஒரு விலைமதிப்பற்ற கருவியாக அமைகிறது.