TaC பூச்சு தட்டு

செமிகோரெக்ஸ் TaC கோட்டிங் பிளேட்டின் அதி-உயர் தூய்மையானது, குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது மாசுபடுதல் மற்றும் தூய்மையற்ற அறிமுகத்தைத் தடுப்பதில் அதன் முக்கியத்துவத்தைக் காட்டும் ஒரு தனித்துவமான அம்சமாகும். அசுத்தங்கள் கூட பதப்படுத்தப்பட்ட பொருட்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனைக் கடுமையாகப் பாதிக்கும் சூழல்களில், அதன் TaC பூச்சுகளின் தூய்மையின் இந்த உயர் நிலை அவசியம். ஒரு சுத்தமான இடைமுகத்தை பராமரிப்பதன் மூலம், TaC பூச்சு தட்டு குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் கடுமையான செயல்திறன் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.

2500°C வரையிலான வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறனுடன், TaC பூச்சுத் தட்டு குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, தீவிர வெப்பத்தை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளுக்கு தொடர்ந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பானது, பூச்சு அப்படியே இருப்பதையும், முழுமையாகச் செயல்படுவதையும் உறுதிசெய்கிறது, அடி மூலக்கூறை வெப்பச் சிதைவிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. இதன் விளைவாக, TaC கோட்டிங் பிளேட்டை அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பூச்சு செயலிழக்கும் ஆபத்து இல்லாமல் நம்பகத்தன்மையுடன் பயன்படுத்த முடியும், இது ஒட்டுமொத்த செயல்முறை செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

TaC பூச்சு தட்டு ஹைட்ரஜன் (H2), அம்மோனியா (NH3), சிலேன் (SiH4) மற்றும் சிலிக்கான் (Si) உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான வேதியியல் ஆக்கிரமிப்பு பொருட்களுக்கு உயர்ந்த எதிர்ப்பைக் காட்டுகிறது. இந்த இரசாயன எதிர்ப்பானது, தகடுகள் அரிப்பு அல்லது இரசாயன தேய்மானங்களுக்கு ஆளாகாமல், விரோதமான சூழலில் திறம்பட செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது. இந்த திறன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குறிப்பாக நன்மை பயக்கும், அங்கு எதிர்வினை இரசாயனங்களின் வெளிப்பாடு வழக்கமானது மற்றும் சாதனங்களின் ஆயுட்காலம் மற்றும் செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கும்.

TaC பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான வலுவான ஒட்டுதல், தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு நிலைமைகளின் கீழ் கூட, உரிக்கப்படாமல் அல்லது நீக்காமல் நீண்ட கால பயன்பாட்டைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த ஆயுள் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றீட்டின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, தடையற்ற செயல்பாடுகளை அனுமதிக்கிறது மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது. TaC கோட்டிங் பிளேட்டின் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை, செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் நம்பகமான அங்கமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

TaC கோட்டிங் பிளேட் விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களை விரிசல் அல்லது கட்டமைப்பு தோல்வி இல்லாமல் கையாளும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அவற்றின் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புக்கு நன்றி. செயலாக்க சுழற்சிகளின் போது வெப்பநிலை மாறுபாடுகளுக்கு விரைவாக மாற்றியமைக்க இந்த சொத்து அனுமதிக்கிறது, உற்பத்தி வேகம் மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது. வெப்ப அதிர்ச்சியை சேதமின்றி தாங்கும் திறன் மிகவும் நெறிப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் திறமையான உற்பத்தி செயல்முறைக்கு பங்களிக்கிறது, ஏனெனில் உபகரணங்கள் வெவ்வேறு வெப்பநிலை நிலைகளுக்கு இடையில் விரைவாக மாறலாம்.

TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு கடுமையான பரிமாண சகிப்புத்தன்மையைப் பூர்த்தி செய்ய உன்னிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, TaC கோட்டிங் பிளேட் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்குத் தேவையான விவரக்குறிப்புகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது. சிக்கலான அமைப்புகளுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மையைப் பேணுவதற்கும் உகந்த செயல்திறனை அடைவதற்கும் இந்தத் துல்லியம் இன்றியமையாதது. பூச்சுகளின் நிலையான பயன்பாடு அனைத்து மேற்பரப்புகளும் சமமாக பாதுகாக்கப்படுவதற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, உயர் துல்லியமான செயல்முறைகளில் தட்டுகளின் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.