TaC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள்

நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், பட சீரான தன்மை, படிகத் தரம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் எபிடாக்சியல் செதில்களுக்கான தேவைகள் பெருகிய முறையில் கடுமையாகிவிட்டன. இந்த காரணத்திற்காக, உயர் செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த பயன்பாடுTaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள்உற்பத்தி செயல்பாட்டில் நிலையான படிவு மற்றும் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்வது குறிப்பிடத்தக்கது.

செமிகோரெக்ஸ் TaC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்களின் நன்மைகள்

1. சிறந்த பொருள் தேர்வுகள்

(1) மேட்ரிக்ஸ் பொருள்

செமிகோரெக்ஸ் பிரீமியம் உயர் தூய்மையைப் பயன்படுத்தியதுகிராஃபைட்உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அத்துடன் இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்கும் வேஃபர் சஸ்செப்டர்களின் அணி. அதன் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் TaC பூச்சுடன் மிகவும் பொருந்துகிறது, திறம்பட உறுதியான ஒட்டுதலை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் பூச்சு உரிக்கப்படுவதையோ அல்லது உரிக்கப்படுவதையோ தடுக்கிறது.

(2) பூச்சு பொருள்

டான்டலம் கார்பைடு என்பது மிக உயர்ந்த உருகுநிலை (தோராயமாக 3880℃), சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர்ந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயந்திர வலிமையுடன் கூடிய உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும். குறிப்பிட்ட செயல்திறன் அளவுருக்கள் பின்வருமாறு:

2. விதிவிலக்கான பூச்சு செயல்திறன்

Semicorex ஒரே மாதிரியாகவும் உறுதியாகவும் கடைபிடிக்க அதிநவீன CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது.TaC பூச்சுகிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுக்கு, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன அரிப்பு இயக்க நிலைமைகளால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல் அல்லது உரித்தல் அபாயத்தை திறம்பட குறைக்கிறது. கூடுதலாக, செமிகோரெக்ஸின் துல்லியமான செயலாக்கத் தொழில்நுட்பமானது, TaC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்களுக்கான நானோமீட்டர்-நிலை மேற்பரப்புத் தட்டைத்தன்மையை அடைகிறது, மேலும் அவற்றின் பூச்சு சகிப்புத்தன்மை மைக்ரோமீட்டர் மட்டத்தில் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது செதில் எபிடாக்சியல் படிவுக்கான உகந்த தளங்களை வழங்குகிறது.

3. குறைக்கடத்தி தர துப்புரவு நிலை

மாலிகுலர் பீம் எபிடாக்ஸி (MBE), இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) போன்ற செயல்முறைகளில் கிராஃபைட் மெட்ரிக்குகளை நேரடியாகப் பயன்படுத்த முடியாது. TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸ் மற்றும் இரசாயனங்களுக்கு இடையிலான எதிர்வினையால் ஏற்படும் செதில் மாசுபடுவதை திறம்பட தவிர்க்கிறது, இதனால் இறுதி படிவு செயல்திறனில் தாக்கத்தை தடுக்கிறது. எதிர்வினை அறைக்குள் குறைக்கடத்தி அளவிலான தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக, ஒவ்வொரு செமிகோரெக்ஸ் TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டரும், செமிகண்டக்டர் செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பில் இருக்க வேண்டும், வெற்றிட பேக்கேஜிங்கிற்கு முன் மீயொலி சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.