Semicorex TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதி என்பது SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை மேம்படுத்தும் நீடித்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கொண்டது. செமிகோரெக்ஸை எங்களின் புதுமையான தீர்வுகள், சிறந்த தயாரிப்பு தரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் கோரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட நம்பகமான, நீண்ட கால உதிரிபாகங்களை வழங்குவதில் நிபுணத்துவம் பெறவும்.*
Semicorex TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதியானது, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சியின் கடுமையான தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறுகளாக தனித்து நிற்கிறது. பிரீமியம்-கிரேடு கிராஃபைட்டிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டு, டான்டலம் கார்பைடு (TaC) இன் வலுவான அடுக்குடன் மேம்படுத்தப்பட்டது, இந்த கூறு இயந்திர மற்றும் இரசாயன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் ஒப்பிடமுடியாத செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. TaC பூச்சு தீவிரமான சூழ்நிலைகளிலும் திறமையான மற்றும் நம்பகமான செயல்பாட்டிற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கும் அத்தியாவசிய அம்சங்களின் தொகுப்பை வழங்குகிறது.
TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பகுதியின் தனித்துவமான பண்பு அதன் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆகும், இது விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன அரிப்புக்கு வலிமையான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த குணாதிசயங்கள் SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி போன்ற சூழல்களில் இன்றியமையாதவை, அங்கு கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு வளிமண்டலங்களைத் தாங்கும். TaC இன் உயர் உருகுநிலையானது, தீவிர வெப்பத்தில் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைத் தக்கவைத்துக்கொள்வதை உறுதிசெய்கிறது, அதே சமயம் அதன் உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை திறம்படச் சிதறடித்து, நீடித்த வெளிப்பாட்டின் போது வெப்ப சிதைவு அல்லது சேதத்தைத் தடுக்கிறது.
மேலும், திTaC பூச்சுகுறிப்பிடத்தக்க இரசாயன பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களை உள்ளடக்கியது, அவை நிலையான பொருட்களை தீவிரமாக தாக்கும். திTaC அடுக்குஒரு வலுவான பாதுகாப்பு தடையாக செயல்படுகிறது, இந்த அரிக்கும் பொருட்களிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை பாதுகாக்கிறது மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கிறது. இந்த பாதுகாப்பு கூறுகளின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிப்பது மட்டுமல்லாமல், SiC படிகங்களின் தூய்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரத்திற்கும் உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இது எந்த மாற்றீட்டையும் விட சிறந்த மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பகுதியின் பின்னடைவு, இது SiC பதங்கமாதல் வளர்ச்சி உலைகளுக்கு இன்றியமையாத அங்கமாக அமைகிறது, அங்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் பொருள் ஒருமைப்பாடு ஆகியவை முக்கியமானவை. இது எபிடாக்சி உலைகளில் பயன்படுத்துவதற்கு சமமாகப் பொருத்தமானது, அங்கு அதன் நீடித்து நிலைத்தன்மை நீடித்த வளர்ச்சி சுழற்சிகள் முழுவதும் நிலையான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்திற்கு அதன் எதிர்ப்பானது செயல்முறை முழுவதும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பாதுகாக்கிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் தேவைப்படும் உயர் துல்லியத்தை அடைவதற்கு அவசியம்.
TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகத்தின் மற்றொரு முக்கிய நன்மை அதன் விதிவிலக்கான ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுள் ஆகும். TaC பூச்சு உடைகள் எதிர்ப்பை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, மாற்றங்களின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைக்கிறது. உயர்-செயல்திறன் உற்பத்தி சூழல்களில் இந்த ஆயுள் விலைமதிப்பற்றது, அங்கு வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைப்பது மற்றும் செயல்முறை செயல்திறனை அதிகரிப்பது ஆகியவை சிறந்த உற்பத்தி செயல்திறனுக்கு இன்றியமையாதவை. இதன் விளைவாக, வணிகங்கள் நீண்ட காலத்திற்கு நிலையான, உயர்மட்ட முடிவுகளை வழங்க TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதியைச் சார்ந்திருக்கும்.
துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பகுதியானது, குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் கடுமையான தரநிலைகளை சந்திக்கிறது. அதன் பரிமாணங்கள் SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி அமைப்புகளில் குறைபாடற்ற பொருத்தத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஏற்கனவே உள்ள சாதனங்களில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை உறுதி செய்கிறது. ஒரு படிக வளர்ச்சி உலை அல்லது ஒரு எபிடாக்ஸி அணு உலையில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த கூறு உகந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, உற்பத்தி செயல்முறையின் வெற்றியை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது.
சுருக்கமாக, TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதியானது SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாத சொத்தாக உள்ளது, வெப்ப எதிர்ப்பு, இரசாயன பாதுகாப்பு, ஆயுள் மற்றும் துல்லியம் ஆகியவற்றில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது. அதன் அதிநவீன பூச்சு தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழலின் தீவிர நிலைமைகளை தாங்க அனுமதிக்கிறது, தொடர்ந்து உயர்தர முடிவுகளை மற்றும் நீண்ட செயல்பாட்டு வாழ்க்கையை உருவாக்குகிறது. செயல்முறை செயல்திறனை அதிகரிக்கவும், வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கவும் மற்றும் பொருள் தூய்மையைப் பராமரிக்கவும் அதன் திறனுடன், TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சி செயல்முறைகளை அடுத்த நிலைக்கு உயர்த்தும் நோக்கத்தில் பேரம் பேச முடியாத கூறு ஆகும்.