TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சக்

Semicorex TaC கோடட் கிராஃபைட் சக் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், அங்கு துல்லியம், நீடித்துழைப்பு மற்றும் தீவிர நிலைமைகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை அவசியம். இந்த சக் ஒரு கிராஃபைட் கோர் கொண்டது, இது டான்டலம் கார்பைடு (TaC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளது, இரண்டு பொருட்களின் தனித்துவமான பண்புகளையும் இணைத்து, கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் சிறப்பாக செயல்படும் ஒரு கூறுகளை உருவாக்குகிறது. திTaC பூச்சுஅதன் கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறனுக்காக அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பொருள், சக்கின் இயந்திர பண்புகளை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. கிராஃபைட், அடிப்படைப் பொருளாக, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையை பங்களிக்கிறது, இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

திTaC பூச்சுஆக்சிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அழுத்தங்களுக்கு எதிராக விதிவிலக்கான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, பூசப்படாத கிராஃபைட் கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது சக்கின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. இந்த ஆயுட்காலம் குறைவான மாற்று மற்றும் குறைவான பராமரிப்பு என மொழிபெயர்க்கப்பட்டு, இறுதியில் செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது. TaC மற்றும் கிராஃபைட் ஆகியவற்றின் கலவையானது ஒரு சக்கை சிறப்பாகச் செயல்படுவதோடு மட்டுமல்லாமல், அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் கடுமையைத் தாங்கி, வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மற்றும் இரசாயனத் தாக்குதல்கள் ஆகிய இரண்டிற்கும் சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது பல்வேறு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு சக்கை இன்றியமையாத அங்கமாக ஆக்குகிறது.

TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சக் பொதுவாக செதில் கையாளுதல், படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது உடல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செதில் கையாளுதல் பயன்பாடுகளில், சக் செதில்களை நுட்பமாக வைப்பதற்கும் அகற்றுவதற்கும் ஒரு நிலையான மற்றும் துல்லியமான தளத்தை வழங்குகிறது, மாசு அல்லது சிதைவு ஆபத்து இல்லாமல் பாதுகாப்பான கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் சீரான முடிவுகளை அடைவதில் இன்றியமையாத காரணியான செதில் முழுவதும் சமமான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அல்லது காலியம் நைட்ரைடு (GaN) படிகங்களின் உற்பத்தி போன்ற படிக வளர்ச்சிப் பயன்பாடுகளில், அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் சக்கின் திறன் வளரும் படிகத்தின் தரத்தை உறுதிப்படுத்த முக்கியமானது.

எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில், ஒரு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய அடுக்குகள் வளர்க்கப்படும் போது, ​​​​வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பதில் சக் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. சக் வழங்கிய சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் அடுக்குகள் சமமாக வளர்வதை உறுதிசெய்கிறது, உயர்தர மெல்லிய படங்களை அடைவதற்கு முக்கியமானது. கூடுதலாக, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்புக்கு சக்கின் எதிர்ப்பானது CVD மற்றும் PVD செயல்முறைகளுக்கு ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது, அங்கு பொருட்கள் வெற்றிடத்தில் அல்லது எதிர்வினை வளிமண்டலத்தில் வைக்கப்படும் போது அடி மூலக்கூறுகள் இடத்தில் வைக்கப்பட வேண்டும்.

TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. அதன் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பானது படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி மற்றும் பிற உயர்-வெப்ப செயல்முறைகளில் காணப்படும் தீவிர நிலைமைகளைக் கையாள முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. TaC பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை என்பது, செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் பரந்த அளவிலான இரசாயனங்களுக்கு சக் மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, இது மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைத்து, பதப்படுத்தப்படும் பொருட்களின் தூய்மையைப் பேணுகிறது. மேலும், சக்கின் உடைகள் எதிர்ப்பு, நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் அதன் செயல்பாடு மற்றும் துல்லியத்தை பராமரிக்கிறது, நீண்ட ஆயுளை வழங்குகிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது.

சிறந்த ஆயுள், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குவதன் மூலம், TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சக், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியாளர்கள் நிலையான, உயர்தர செயல்திறனுக்காக அதை நம்பியிருப்பதை உறுதி செய்கிறது. செதில் கையாளுதல், படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி அல்லது படிவு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த பயன்பாடுகளின் வெற்றியை உறுதி செய்வதில் சக் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன், தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் செதில்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறுகளின் துல்லியமான கையாளுதலை வழங்கும் திறன், நவீன உற்பத்தி செயல்முறைகளின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்திற்கு பங்களிக்கும் குறைக்கடத்தித் தொழிலில் இது ஒரு விலைமதிப்பற்ற அங்கமாக அமைகிறது. சக்கின் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்புத் தேவைகள் உற்பத்தியாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தீர்வாக அமைகிறது, ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டுத் திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்தி வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.