சிறப்பு கிராஃபைட் என்பது ஒரு வகையான செயற்கை கிராஃபைட் ஆகும். படிக வளர்ச்சி, அயன் உள்வைப்பு, எபிடாக்ஸி போன்ற உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி செயல்முறையின் அனைத்து அம்சங்களிலும் இது ஒரு முக்கியமான பொருள்.
1. சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) படிக வளர்ச்சி
சிலிக்கான் கார்பைடு, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருளாக, புதிய எரிசக்தி வாகனங்கள், 5 ஜி தகவல்தொடர்புகள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. 6 அங்குல மற்றும் 8 அங்குல எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் முதன்மையாக பின்வரும் முக்கிய கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது:
கிராஃபைட் க்ரூசிபிள்: இது SIC தூள் தீவனத்தை ஒருங்கிணைக்கவும், அதிக வெப்பநிலையில் படிக வளர்ச்சிக்கு உதவவும் பயன்படுத்தப்படலாம். அதன் உயர் தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவை நிலையான படிக வளர்ச்சி சூழலை உறுதி செய்கின்றன.
கிராஃபைட் ஹீட்டர்: இது சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகிறது, இது உயர் தரமான SIC படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
காப்பு குழாய்: இது படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பராமரிக்கிறது மற்றும் வெப்ப இழப்பைக் குறைக்கிறது.
2. அயன் பொருத்துதல்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அயன் உள்வைப்பு ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும். ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் முதன்மையாக அயன் உள்வைப்புகளில் பின்வரும் கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது:
கிராஃபைட் பெறுநர்: இது அயன் கற்றையில் தூய்மையற்ற அயனிகளை உறிஞ்சி, அயன் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.
கிராஃபைட் ஃபோகஸிங் வளையம்: இது அயன் கற்றை கவனம் செலுத்துகிறது, அயன் உள்வைப்பு துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு தட்டுகள்: சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிக்கவும், அயன் பொருத்துதலின் போது நிலைத்தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் பராமரிக்கப் பயன்படுகிறது.
3. எபிடாக்ஸி செயல்முறை
குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஒரு முக்கியமான படியாகும். ஐசோஸ்டாடிக் அழுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் முதன்மையாக எபிடாக்ஸி உலைகளில் பின்வரும் கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது:
கிராஃபைட் தட்டுகள் மற்றும் சசெப்டர்கள்: சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படுகிறது, எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது நிலையான ஆதரவு மற்றும் சீரான வெப்ப கடத்துதலை வழங்குகிறது.
4. பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகள்
ஐசோஸ்டாடிக் அழுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் பின்வரும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:
பொறித்தல் செயல்முறை: செட்சர்களுக்கான கிராஃபைட் மின்முனைகள் மற்றும் பாதுகாப்பு கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் தூய்மை பொறித்தல் செயல்பாட்டில் நிலைத்தன்மையையும் துல்லியத்தையும் உறுதி செய்கின்றன.
வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி): சி.வி.டி உலைகளுக்குள் கிராஃபைட் தட்டுகள் மற்றும் ஹீட்டர்களை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு ஆகியவை சீரான மெல்லிய திரைப்பட படிவுகளை உறுதி செய்கின்றன.
பேக்கேஜிங் சோதனை: சோதனை சாதனங்கள் மற்றும் கேரியர் தட்டுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. அதன் உயர் துல்லியம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு துல்லியமான சோதனை முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.
கிராஃபைட் பகுதிகளின் நன்மைகள்
அதிக தூய்மை:
மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்துடன் உயர் தூய்மையற்ற ஐசோஸ்டாடிக் அழுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் பொருளைப் பயன்படுத்தி, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான பொருள் தூய்மை தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது. நிறுவனத்தின் சொந்த சுத்திகரிப்பு உலை கிராஃபைட்டை 5 பிபிஎம் கீழே சுத்திகரிக்க முடியும்.
அதிக துல்லியம்:
மேம்பட்ட செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் முதிர்ந்த செயலாக்க தொழில்நுட்பத்துடன், தயாரிப்பின் பரிமாண துல்லியம் மற்றும் வடிவம் மற்றும் நிலை சகிப்புத்தன்மை மைக்ரான் அளவை எட்டுவதை இது உறுதி செய்கிறது.
உயர் செயல்திறன்:
தயாரிப்பு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, கதிர்வீச்சு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பல்வேறு கடுமையான வேலை நிலைமைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை:
வெவ்வேறு பயன்பாட்டுக் காட்சிகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் செயலாக்க சேவைகளை வழங்க முடியும்.
கிராஃபைட் தயாரிப்புகளின் வகைகள்
(1) ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்
ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் தயாரிப்புகள் குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தத்தால் தயாரிக்கப்படுகின்றன. பிற உருவாக்கும் முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, இந்த செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் சிலுவைகள் சிறந்த ஸ்திரத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. SIC ஒற்றை படிகங்களுக்குத் தேவையான கிராஃபைட் தயாரிப்புகள் அனைத்தும் பெரிய அளவில் உள்ளன, அவை மேற்பரப்பு மற்றும் கிராஃபைட் தயாரிப்புகளின் உள்ளே சீரற்ற தூய்மைக்கு வழிவகுக்கும், அவை பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியாது. எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகங்களுக்குத் தேவையான பெரிய அளவிலான கிராஃபைட் தயாரிப்புகளின் ஆழமான சுத்திகரிப்பு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, பெரிய அளவிலான அல்லது சிறப்பு வடிவ வடிவிலான கிராஃபைட் தயாரிப்புகளின் ஆழமான மற்றும் சீரான சுத்திகரிப்பை அடைய ஒரு தனித்துவமான உயர் வெப்பநிலை தெர்மோகெமிக்கல் துடிப்பு சுத்திகரிப்பு செயல்முறையை பின்பற்ற வேண்டும், இதனால் தயாரிப்பு மேற்பரப்பு மற்றும் மையத்தின் தூய்மை பயன்பாட்டுத் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
(2) போரஸ் கிராஃபைட்
நுண்ணிய கிராஃபைட் என்பது அதிக போரோசிட்டி மற்றும் குறைந்த அடர்த்தி கொண்ட ஒரு வகை கிராஃபைட் ஆகும். எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், வெகுஜன பரிமாற்ற சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதிலும், கட்ட மாற்றத்தின் நிகழ்வு வீதத்தைக் குறைப்பதிலும், படிக வடிவத்தை மேம்படுத்துவதிலும் நுண்ணிய கிராஃபைட் குறிப்பிடத்தக்க பங்கைக் கொண்டுள்ளது.
நுண்ணிய கிராஃபைட்டின் பயன்பாடு மூலப்பொருள் பகுதியின் வெப்பநிலை மற்றும் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, சிலுவையில் உள்ள அச்சு வெப்பநிலை வேறுபாட்டை அதிகரிக்கிறது, மேலும் மூலப்பொருள் மேற்பரப்பின் மறுகட்டமைப்பை பலவீனப்படுத்துவதில் ஒரு குறிப்பிட்ட விளைவைக் கொண்டுள்ளது; வளர்ச்சி அறையில், நுண்ணிய கிராஃபைட் வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும் பொருள் ஓட்டத்தின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, வளர்ச்சிப் பகுதியின் சி/எஸ்ஐ விகிதத்தை அதிகரிக்கிறது, கட்ட மாற்றத்தின் நிகழ்தகவைக் குறைக்க உதவுகிறது, அதே நேரத்தில், படிக இடைமுகத்தை மேம்படுத்துவதில் நுண்ணிய கிராஃபைட் ஒரு பங்கைக் கொண்டுள்ளது.
(3) உணர்ந்தேன்
SIC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சியல் இணைப்புகளில் முக்கியமான வெப்ப காப்பு பொருட்களின் பங்கை மென்மையான உணர்வு மற்றும் கடினமானது.
(4) கிராஃபைட் படலம்
கிராஃபைட் பேப்பர் என்பது வேதியியல் சிகிச்சை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை உருட்டல் மூலம் உயர் கார்பன் ஃப்ளேக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் ஒரு செயல்பாட்டு பொருள். இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், மின் கடத்துத்திறன், நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.
(5) கலப்பு பொருட்கள்
கார்பன்-கார்பன் வெப்ப புலம் ஒளிமின்னழுத்த ஒற்றை படிக உலை உற்பத்தியில் முக்கிய நுகர்பொருட்களில் ஒன்றாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் உற்பத்தி
செமிகோரெக்ஸ் சிறிய தொகுதி, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உற்பத்தி முறைகளுடன் கிராஃபைட்டை உருவாக்குகிறது. சிறிய தொகுதி உற்பத்தி தயாரிப்புகளை மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடியதாக ஆக்குகிறது. முழு செயல்முறையும் நிரல்படுத்தக்கூடிய லாஜிக் கன்ட்ரோலர்களால் (பி.எல்.சி) கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, விரிவான செயல்முறை தரவு பதிவு செய்யப்பட்டது, இது முழுமையான வாழ்க்கைச் சுழற்சி கண்டுபிடிப்பை செயல்படுத்துகிறது.
முழு வறுத்த செயல்பாட்டின் போது, வெவ்வேறு இடங்களில் எதிர்ப்பில் அடையப்பட்ட நிலைத்தன்மை, மற்றும் இறுக்கமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு பராமரிக்கப்படுகிறது. இது கிராஃபைட் பொருட்களின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
செமிகோரெக்ஸ் முழு ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது மற்ற சப்ளையர்களிடமிருந்து வேறுபட்டது; இதன் பொருள் கிராஃபைட் அல்ட்ரா சீருடை தானே மற்றும் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் குறிப்பாக முக்கியமானது என்று நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது. வெவ்வேறு மாதிரிகள் முழுவதும் அடர்த்தி, எதிர்ப்பு, கடினத்தன்மை, வளைக்கும் வலிமை மற்றும் வலிமை உள்ளிட்ட விரிவான பொருள் சீரான சோதனைகள் நடத்தப்பட்டன.
Semicorex Graphite Powder (99.999% தூய்மை, 1-5 µm துகள் அளவு) என்பது செமிகண்டக்டர் படிக வளர்ச்சிக்கு அவசியமான உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும், இது சிறந்த தூய்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் மிக உயர்ந்த தரமான தரத்தை உறுதிசெய்கிறது, மேம்பட்ட உற்பத்திக்கான பொருத்தமான தீர்வுகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் CFC ராட், உயர் வெப்பநிலை வெற்றிட உலைகளில் உள்ள தண்டுகள் மற்றும் சிறப்பு வளிமண்டல அடுப்புகளில் சுமை தாங்கும் பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்துவதற்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் என்பது செமிகண்டக்டர் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உகந்த வெப்பநிலை நிலைகளை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் காப்புப் பொருளாகும். Semicorex உயர்ந்த வெப்ப மேலாண்மையுடன் மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்குகிறது, உயர்தர பொருட்கள் மற்றும் முக்கியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கார்பன் ஃபைபர் ரிஜிட் ஃபெல்ட் என்பது உயர்-வெப்பநிலை சூழல்களில், குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும், அங்கு இது க்ரூசிபிள்கள் மற்றும் இன்சுலேஷன் லைனிங் போன்ற முக்கிய கூறுகளாக செயல்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட, உயர்தரப் பொருட்களை உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் நீடித்து நிலைத்து, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உகந்த செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் ஃபெல்ட் என்பது ஒரு நெகிழ்வான, இலகுரக மற்றும் அதிக திறன் கொண்ட வெப்ப காப்புப் பொருளாகும், இது அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது. Semicorex சிறந்த-தரமான கிராஃபைட் ஃபெல்ட்களை வழங்குகிறது, அவை விதிவிலக்கான நீடித்துழைப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன, மேலும் மேம்பட்ட காப்புத் தீர்வுகளைக் கோரும் தொழில்களுக்கு அவை சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex Rigid Felt with Glass-like Carbon Coating என்பது, கீறல்-எதிர்ப்பு, தூசி-குறைக்கும் கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சுடன் உணரப்பட்ட கார்பன் ஃபைபரின் நீடித்து நிலைத்தன்மையை ஒருங்கிணைக்கும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட காப்புப் பொருளாகும். மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பங்களில் Semicorex இன் நிபுணத்துவம் விதிவிலக்கான ஆயுள் மற்றும் தூய்மையை உறுதிசெய்கிறது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் துல்லிய-உணர்திறன் பயன்பாடுகளின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு