SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலுவைகள்

உயர் வெப்பநிலை படிக வளர்ச்சி உலைகளின் மையத்தில் நிறுவப்பட்டது,SiC-பூசப்பட்டகிராஃபைட் சிலுவைகள் ஹீட்டர்கள், வெப்ப காப்பு சட்டைகள், ஓட்ட வழிகாட்டி குழாய்கள் மற்றும் க்ரூசிபிள் தண்டுகள் ஆகியவற்றுடன் இணைந்து முழுமையான வெப்ப புல அமைப்பை உருவாக்குகின்றன. இந்த வெப்ப புல அமைப்பு படிக வளர்ச்சிக்கு அவசியமான நிலையான உயர் வெப்பநிலை சூழலை பராமரிக்க முடியும்.

SiC- பூசப்பட்ட உற்பத்திகிராஃபைட் சிலுவைகள்பொதுவாக ஒரு அடர்த்தியை சீராக வைப்பதற்கு மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் தொடங்குகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடுஉருவான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் பூச்சு. உயர் தூய்மையால் ஆனதுகிராஃபைட்அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அரிப்பு எதிர்ப்புடன் கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறனை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு ஒருங்கிணைந்த கட்டமைப்பை உருவாக்குகிறது.

Czochralski முறையானது படிக வளர்ச்சிக்கான உலகளாவிய தொழில் நுட்பமாகும். இந்த நுட்பம் படிக உற்பத்தியின் போது க்ரூசிபில் மையவிலக்கு விசையைச் செலுத்தும். SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலுவைகளின் உயர்ந்த நெகிழ்வு வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை, அதிவேக சுழற்சியின் போது உடைப்பு அல்லது விரிசல்களைத் தடுக்கலாம், இது சிலுவை சேதத்தால் ஏற்படும் உற்பத்தி குறுக்கீடுகளை திறம்பட குறைக்கிறது. கூடுதலாக, இந்தச் செயல்பாட்டின் போது சிலுவைகள் குறுகிய காலத்திற்குள் கடுமையான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுக்கு உள்ளாக வேண்டும். அவற்றின் குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பிற்கு நன்றி, SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலுவைகள் வெப்ப அழுத்தத்துடன் தொடர்புடைய கட்டமைப்பு சேதத்தை குறைக்கலாம், அவற்றின் வடிவத்தின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் சிலுவை சிதைப்பால் ஏற்படும் படிக வளர்ச்சி குறைபாடுகளை குறைக்கலாம்.

அதிக வெப்பநிலையின் கீழ், SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலுவைகள் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்கும். இந்த பாதுகாப்பு அடுக்கு சிலிக்கான் நீராவி மற்றும் உருகிய சிலிக்கான் ஆகியவற்றிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை தனிமைப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு அரிப்பைக் குறைக்கிறது மற்றும் பூச்சு உரிதலுடன் தொடர்புடைய படிக மாசுபாடு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது. எனவே, செமிகோரெக்ஸின் SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலுவைகள் உண்மையான செயல்பாட்டில் நீண்ட காலத்திற்கு பல்வேறு சிக்கலான உயர்-வெப்பநிலை அரிப்பு சூழல்களைத் தாங்கும். இது நிலையான படிக கலவையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் குறைபாடு விகிதங்களைக் குறைக்கிறது, இவை இரண்டும் உயர்தர குறைக்கடத்தி படிகங்களின் உற்பத்திக்கு அவசியம்.