செமிகோரெக்ஸ் SiSiC வேஃபர் படகு என்பது செமிகண்டக்டரில் முக்கியமான அங்கமாகும், இது CVD பூச்சுடன் கூடிய உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்களால் ஆனது. Semicorex வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில் மிகவும் பொருத்தமான தீர்வுகளை வழங்க முடியும் மற்றும் உலகளாவிய கூட்டாளர்களால் தகுதி பெற்றுள்ளது.*
குறைக்கடத்தி மற்றும் சூரிய மின்கல உற்பத்தியின் போட்டி நிலப்பரப்பில், கூறு நீண்ட ஆயுளுடன் சமநிலைப்படுத்துதல் அவசியம். எங்கள்SiSiC வேஃபர் படகு அதிக வெப்பநிலை உலைச் செயல்பாடுகளுக்கான "தொழில்துறை வேலைக் குதிரையாக" வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எதிர்வினை-பிணைப்பு செயல்முறையைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் மற்றும் நிலையான பீங்கான்களுடன் ஒப்பிடும்போது சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வழங்கும் கேரியரை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
உயர் அழுத்த தூள் ஒருங்கிணைப்பு மூலம் உருவாகும் சின்டர்டு SiC போலல்லாமல்,SiSiC வேஃபர் படகு உருகிய சிலிக்கானுடன் நுண்ணிய கார்பன் முன்வடிவத்தை ஊடுருவி உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. இந்த "எதிர்வினைப் பிணைப்பு" செயல்முறையானது, உற்பத்தியின் போது கிட்டத்தட்ட பூஜ்ஜிய சுருங்கும் ஒரு பொருளை உருவாக்குகிறது, இது நம்பமுடியாத பரிமாணத் துல்லியத்துடன் சிக்கலான, பெரிய அளவிலான படகுக் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.
தொகுதி செயலாக்கத்தில் மிகவும் முக்கியமான சவால்களில் ஒன்று உலையின் விரைவான "புஷ்-புல்" சுழற்சி ஆகும். குவார்ட்ஸ் கேரியர்கள் பெரும்பாலும் வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் விரிசல் அடைகின்றன. SiSiC சிதைவு (MOR) மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றின் குறிப்பிடத்தக்க உயர் மாடுலஸைக் கொண்டுள்ளது. இது எங்கள் படகுகள் கட்டமைப்பு தோல்வியின் ஆபத்து இல்லாமல் விரைவான வெப்பநிலையைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது, இது நேரடியாக குறைந்த உபகரணங்களின் வேலையில்லா நேரத்தை மொழிபெயர்க்கிறது.
செதில் அளவுகள் அதிகரித்து, செயல்திறனை அதிகரிக்க தொகுதிகள் பெரிதாகும்போது, கேரியரின் எடை அதிகரிக்கிறது. எங்கள் SiSiC படகுகள் விதிவிலக்கான க்ரீப் எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. மற்ற பொருட்கள் 1,250 ° C இல் அதிக சுமைகளின் கீழ் தொய்வு அல்லது சிதைந்து போகலாம், SiSiC அதன் வடிவவியலைப் பராமரிக்கிறது, ஆயிரக்கணக்கான சுழற்சிகளில் செதில் ஸ்லாட் இணையான தன்மை சரியானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் SiSiC படகுகள் கடுமையான இரசாயன சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. LPCVD மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்களை இந்த பொருள் இயல்பாகவே எதிர்க்கும். மேலும், "இலவச சிலிக்கான்" இடம்பெயர்வு இல்லை என்பதை உறுதிப்படுத்த மேற்பரப்பு சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது, இது உங்கள் செதில்களின் மின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கும் நிலையான, சுத்தமான சூழலை வழங்குகிறது.
| சொத்து |
SiSiC (எதிர்வினை பிணைக்கப்பட்டது) |
பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் |
தொழில்துறை நன்மை |
| அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை |
1,350°C – 1,380°C |
~1,100°C |
அதிக செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் |
> 150 W/m·K |
1.4 W/m·K |
விரைவான, சீரான வெப்பமாக்கல் |
| மீள் மாடுலஸ் |
~330 GPa |
~70 GPa |
அதிக சுமைகளின் கீழ் தொய்வு இல்லை |
| போரோசிட்டி |
< 0.1% |
0% |
குறைந்தபட்ச வாயு உறிஞ்சுதல் |
| அடர்த்தி |
3.02 - 3.10 g/cm³ |
2.20 g/cm³ |
உயர் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை |
எங்கள் SiSiC வேஃபர் படகு TEL (டோக்கியோ எலக்ட்ரான்), ASM மற்றும் Kokusai Electric உள்ளிட்ட உலகின் முன்னணி உலை OEMகளுடன் இணக்கமானது. நாங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளை வழங்குகிறோம்:
கிடைமட்ட பரவல் உலைகள்: 150 மிமீ மற்றும் 200 மிமீ செதில்களுக்கு அதிக துல்லியமான துளையிடல் கொண்ட நீண்ட நீள படகுகள்.
செங்குத்து உலை அமைப்புகள்: வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மையை மேம்படுத்தும் குறைந்த நிறை வடிவமைப்புகள்.
சோலார் PV செல் உற்பத்தி: அதிக அளவு POCl3 பரவலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட சிறப்பு SiSiC கேரியர்கள், குவார்ட்ஸை விட 5-10 மடங்கு நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகிறது.
நிபுணர் நுண்ணறிவு: 1,380°C க்கும் அதிகமான செயல்முறைகளுக்கு, நாங்கள் எங்கள் Sintered SiC லைனைப் பரிந்துரைக்கிறோம். இருப்பினும், பெரும்பாலான பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் LPCVD படிகளுக்கு, SiSiC தொழில்துறையில் மிகவும் செலவு குறைந்த செயல்திறன்-ஆயுட்காலம் விகிதத்தை வழங்குகிறது.
மெட்டீரியல் நிபுணத்துவம்: எங்களின் எதிர்வினைப் பிணைப்பு செயல்முறைக்கு உயர்-தூய்மை ஆல்பா-SiC பவுடர் மற்றும் எலக்ட்ரானிக்-கிரேடு சிலிக்கான் ஆகியவற்றை மட்டுமே நாங்கள் பெறுகிறோம்.
துல்லிய பொறியியல்: எங்கள் CNC அரைக்கும் திறன்கள் ± 0.02mm க்குள் ஸ்லாட் சகிப்புத்தன்மையை அனுமதிக்கின்றன, இது செதில் அதிர்வு மற்றும் உடைப்பைக் குறைக்கிறது.
நிலைத்தன்மை & ROI: குவார்ட்ஸிலிருந்து SiSiC க்கு மாறுவதன் மூலம், ஃபேப்ஸ் பொதுவாக கணிசமாகக் குறைக்கப்பட்ட மாற்று அதிர்வெண் காரணமாக வருடாந்திர நுகர்வு செலவில் 40% குறைப்பைக் காண்கிறது.
நாங்கள் அனுப்பும் ஒவ்வொரு படகிலும் இணக்கச் சான்றிதழ் (CoC) மற்றும் ஒரு முழு பரிமாண ஆய்வு அறிக்கையுடன், உங்கள் செயல்முறைக் கருவி உடனடியாக சுத்தம் செய்யும் அறையில் நிறுவுவதற்குத் தயாராக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது.