சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகு

செமிகோரெக்ஸ் செங்குத்து / நெடுவரிசை மற்றும் கிடைமட்ட உள்ளமைவுகளுக்கு செதில் படகுகள், பீடங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் செதில் கேரியர்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் செதில் படகு ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகு, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் கையாளுதல் மற்றும் பாதுகாப்பிற்கான இறுதி தீர்வு.
எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பயன்படுத்தப்பட்ட CVD முறையைப் பயன்படுத்தி பூசப்பட்ட உயர்தரப் பொருட்களால் ஆனது, இது அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் பிளாஸ்மா நீடித்த தன்மையை வழங்குகின்றன, அதே நேரத்தில் அதிக திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்களுக்கான துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை குறைக்கின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் செதில் படகின் அளவுருக்கள்

தொழில்நுட்ப பண்புகள்
குறியீட்டு	அலகு	மதிப்பு
பொருள் பெயர்		எதிர்வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு	அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு	மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு
கலவை		RBSiC	SSiC	R-SiC
மொத்த அடர்த்தி	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
நெகிழ்வு வலிமை	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
அமுக்க வலிமை	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
கடினத்தன்மை	பொத்தான்	2700	2800	/
பிரேக்கிங் டெனாசிட்டி	MPa m1/2	4.5	4	/
வெப்ப கடத்துத்திறன்	W/m.k	95	120	23
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம்	10^-6.1/°C	5	4	4.7
குறிப்பிட்ட வெப்பம்	ஜூல்/கிராம் 0கே	0.8	0.67	/
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை	℃	1200	1500	1600
மீள் மாடுலஸ்	ஜி.பி.ஏ	360	410	240

SSiC மற்றும் RBSiC இடையே உள்ள வேறுபாடு:

1. சின்டரிங் செயல்முறை வேறுபட்டது. RBSiC என்பது குறைந்த வெப்பநிலையில் இலவச Si ஐ சிலிக்கான் கார்பைடுக்குள் ஊடுருவச் செய்வதாகும், SSiC ஆனது 2100 டிகிரியில் இயற்கையான சுருக்கத்தால் உருவாகிறது.

2. SSiC மென்மையான மேற்பரப்பையும், அதிக அடர்த்தியையும், அதிக வலிமையையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் கடுமையான மேற்பரப்புத் தேவைகளைக் கொண்ட சில சீல்களுக்கு, SSiC சிறப்பாக இருக்கும்.

3. வெவ்வேறு PH மற்றும் வெப்பநிலையின் கீழ் வெவ்வேறு நேரம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, SSiC RBSiC ஐ விட நீளமானது

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகின் அம்சங்கள்

சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூசப்பட்டது
இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

சூடான குறிச்சொற்கள்: சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகு, சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை