சிலிக்கான் கார்பைடு படகு

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு படகு என்பது செமிகண்டக்டர் பரவல் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் மேம்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும். இந்த தயாரிப்பு சிறந்த ஆயுள், விதிவிலக்கான வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் தொழில்துறை சூழல்களில் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிலிக்கான் கார்பைடு படகு ஒளிமின்னழுத்தங்கள், மின்னணுவியல் மற்றும் குறைக்கடத்திகள் போன்ற தொழில்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, அங்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களை உள்ளடக்கிய உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அதிக துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை அவசியம்.

முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அதன் சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு புகழ்பெற்றது. SiC படகு தீவிர வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்கும், இதனால் வெப்பநிலை பெரும்பாலும் 1000°C ஐத் தாண்டும் குறைக்கடத்தி பரவல் உலைகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. விரிசல் அல்லது சிதைவு இல்லாமல் விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளைத் தாங்கும் பொருளின் திறன் நீண்ட உற்பத்தி ஓட்டங்கள் முழுவதும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் ஆயுள்

SiC பொருள் அதன் சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பிற்காக அறியப்படுகிறது, இது அதிக தேவை கொண்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் முக்கியமானது. சிராய்ப்பு நிலைமைகளுக்கு நீண்ட நேரம் வெளிப்பட்ட பின்னரும் படகு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, இது மென்மையான குறைக்கடத்தி செதில்களைக் கையாளும் போது முக்கியமானது. அதன் ஆயுள், மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்க உதவுகிறது, நீண்ட கால செலவு சேமிப்புகளை வழங்குகிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

அரிப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் ஆக்கிரமிப்பு வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்கள் வெளிப்பாடு அடங்கும். SiC படகு இந்த பொருட்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்ப்பதில் சிறந்து விளங்குகிறது, இதில் அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற முகவர்கள் மற்றும் பரவல் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை இரசாயனங்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு படகின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சிதைவிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, பதப்படுத்தப்பட்ட தயாரிப்புகளின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை பராமரிக்கிறது.

உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிதறல்

SiC என்பது மிகவும் திறமையான வெப்ப கடத்தி ஆகும், இது படகின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிப்பதில் முக்கியமானது. இந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் சூடான இடங்களை குறைக்கிறது, வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு சமமான வெப்பமாக்கல் செயல்முறையை உறுதி செய்கிறது. குறைக்கடத்தி பரவல் செயல்முறைகளில், செதில்களின் விரும்பிய மின் பண்புகளை அடைவதற்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு முக்கியமானது. SiC இன் சிறந்த வெப்பச் சிதறல் பண்புகள் நிலையான முடிவுகளை அடைய உதவுகிறது, இறுதி தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

அதிக சுமை தாங்கும் திறன்

சிலிக்கான் கார்பைடு படகின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று, அதிக சுமைகளை சிதைக்காமல் அல்லது சிதைக்காமல் தாங்கும் திறன் ஆகும். படகு பரவல் செயல்பாட்டின் போது பல குறைக்கடத்தி செதில்களை கொண்டு செல்லும் போது இந்த அதிக சுமை தாங்கும் திறன் அவசியம். பொருளின் வலிமையானது, செயல்முறை முழுவதும் செதில்கள் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, சாத்தியமான சேதத்தைத் தடுக்கிறது மற்றும் உலையின் மென்மையான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

சிதைக்காதது மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

SiC படகு நீண்ட கால செயல்திறனுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மற்ற பொருட்களைப் போலல்லாமல், நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும், அதிக வெப்பநிலை அல்லது அதிக சுமைகளின் கீழ் SiC சிதைவதில்லை அல்லது வளைக்காது. இந்த அம்சம் கூறுகளின் ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது. தேய்மானம் மற்றும் சிதைப்பதற்கு படகின் எதிர்ப்பானது ஆயிரக்கணக்கான உற்பத்தி சுழற்சிகளில் நம்பகமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செயல்திறனாக மொழிபெயர்க்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தேர்வாக அமைகிறது.

மின்சார பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு

பரவல் போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், செதில்கள் பெரும்பாலும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு வெளிப்படும். சிலிக்கான் கார்பைடு படகு பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, மின் பிளாஸ்மா தொடர்புகளிலிருந்து சிதைவைத் தடுக்கிறது. இந்தச் சொத்து அதிக ஆற்றல் கொண்ட பிளாஸ்மா புலங்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளில் மிகவும் முக்கியமானது, படகு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது மற்றும் தொடர்ந்து நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுகிறது.

செமிகண்டக்டர் மற்றும் தொடர்புடைய தொழில்களில் பயன்பாடுகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படகு முதன்மையாக குறைக்கடத்தி பரவல் உலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கான ஆதரவு அமைப்பாக செயல்படுகிறது. இந்த உலைகள் டோபண்டுகளை செதில்களில் அறிமுகப்படுத்தவும், அவற்றின் மின் பண்புகளை மாற்றவும், அடுத்த கட்ட உற்பத்திக்கு தயார் செய்யவும் பயன்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு படகின் அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, நீடித்து நிலைப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவை இந்தப் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.

குறைக்கடத்தி பரவலுக்கு கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு படகு ஒளிமின்னழுத்தம் மற்றும் மின்னணுவியல் போன்ற பிற தொழில்களிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில், சிலிக்கான் செதில்களின் உயர்-வெப்பநிலை சிகிச்சையில் அவற்றின் செயல்திறன் மற்றும் மின் பண்புகளை மேம்படுத்த இது பயன்படுத்தப்படுகிறது. எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில், துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் SiC படகுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதில் கடுமையான தர தரநிலைகளை சந்திக்க வேண்டிய மின்னணு கூறுகளின் உற்பத்தி உட்பட.