SiC வேஃபர் படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ் SiC வேஃபர் படகு, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டது, உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் இணையற்ற செயல்திறனை வழங்குவதன் மூலம் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதில் முன்னணியில் உள்ளது. குறைக்கடத்தி தொழில் இடைவிடாமல் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதால், மீள் மற்றும் வலுவான பொருட்களுக்கான தேவை மிக முக்கியமானது.

SiC வேஃபர் படகு பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற வெப்ப செயல்முறைகளின் போது பல செதில்களை வைத்திருப்பதில் மற்றும் ஆதரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இந்த செயல்முறைகள் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டலத்தில் செதில்களை மிக அதிக வெப்பநிலைக்கு உட்படுத்துகிறது, பெரும்பாலும் 1000 டிகிரி செல்சியஸ் அதிகமாகும். உற்பத்தி செய்யப்படும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு இந்த வெப்ப சிகிச்சைகளின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை மிகவும் முக்கியமானது. SiC வேஃபர் படகு சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன், செதில்கள் ஒரே மாதிரியாக செயலாக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இது சிறந்த சாதன மகசூல் மற்றும் செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது.

SiC செதில் படகுகளின் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் அனைத்து செதில்களிலும் வெப்ப விநியோகத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்பநிலை சாய்வுகளின் அபாயத்தை குறைக்கிறது. மேலும், SiC இன் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் (CTE) வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது குறைந்தபட்ச வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இயந்திர அழுத்தத்தைத் தடுப்பதற்கும், செதில்களுக்கு ஏற்படக்கூடிய சேதங்களைத் தடுப்பதற்கும், குறிப்பாகச் சுருங்கி வரும் சாதன வடிவவியலுடன் இந்த நிலைத்தன்மை முக்கியமானது.

வெப்ப செயல்முறைகளின் போது, ​​SiC செதில் படகின் பொருட்களுடன் தொடர்பு கொள்ளக்கூடிய பல்வேறு எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு செதில்கள் வெளிப்படும். SiC இன் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பானது இந்த வாயுக்களுடன் வினைபுரியாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் செதில்களின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் இது மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு மாசுபாட்டின் அளவு கூட குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மையைக் குறைக்கும்.