SiC வேஃபர் படகு கேரியர்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் வேகமாக வளர்ந்து வரும் நிலப்பரப்பில்-குறிப்பாக EVகளுக்கான SiC மற்றும் GaN மின் சாதனங்களின் உற்பத்தி, 5G உள்கட்டமைப்பு மற்றும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல்-உங்கள் செதில் கையாளும் வன்பொருளின் நம்பகத்தன்மை பேச்சுவார்த்தைக்குட்படாது. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier என்பது பொருள் பொறியியலின் உச்சத்தை பிரதிநிதித்துவப்படுத்துகிறது, இது பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் மற்றும் கிராஃபைட் கூறுகளை உயர்-வெப்பநிலை, உயர்-தூய்மை சூழல்களில் மாற்றுவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

ஏன் சிலிக்கான் கார்பைடு தொழில்துறை தேர்வாக உள்ளது

குறைக்கடத்தி முனைகள் சுருங்கி, செதில் அளவுகள் 200மிமீ (8-இன்ச்) நோக்கி மாறும்போது, ​​குவார்ட்ஸின் வெப்ப மற்றும் இரசாயன வரம்புகள் ஒரு தடையாக மாறும். எங்கள் SiC வேஃபர் படகு கேரியர் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுசின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடுஅல்லது CVD- பூசப்பட்ட SiC, வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர வலிமை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையை வழங்குகிறது.

1. விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை

பாரம்பரிய பொருட்கள் பரவல் மற்றும் அனீலிங் தேவைப்படும் தீவிர வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும் போது பெரும்பாலும் "சரிவு" அல்லது சிதைவு ஆகியவற்றால் பாதிக்கப்படுகின்றன. எங்கள் SiC வேஃபர் படகு கேரியர் 1,600°Cக்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. இந்த உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை, செதில் ஸ்லாட்டுகள் சரியாக சீரமைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, தானியங்கு ரோபோ பரிமாற்றங்களின் போது செதில் "ராட்டில்" அல்லது நெரிசலைத் தடுக்கிறது.

2. அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு

ஒரு சுத்தமான அறை சூழலில், துகள்கள் விளைச்சலுக்கு எதிரி. எங்கள் படகு கேரியர்கள் தனியுரிம CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) பூச்சு செயல்முறைக்கு உட்படுகின்றன. இது ஒரு அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது, இது தூய்மையற்ற வாயு வெளியேற்றத்திற்கு எதிராக ஒரு தடையாக செயல்படுகிறது. மிகக் குறைந்த உலோக அசுத்த நிலைகளுடன், உங்கள் செதில்கள் - சிலிக்கான் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு - முக்கியமான உயர்-வெப்ப சுழற்சிகளின் போது குறுக்கு-மாசுபாட்டிலிருந்து விடுபடுவதை எங்கள் கேரியர்கள் உறுதி செய்கின்றன.

3. பொருந்திய CTE (வெப்ப விரிவாக்க குணகம்)

வேஃபர் ஸ்ட்ரெஸ் மற்றும் ஸ்லிப் லைன்களுக்கான முதன்மைக் காரணங்களில் ஒன்று கேரியருக்கும் செதில்க்கும் இடையே வெப்ப விரிவாக்கத்தில் பொருந்தாதது. எங்கள் SiC படகுகள் SiC செதில்களுடன் நெருக்கமாக பொருந்தக்கூடிய CTE உடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. இந்த ஒத்திசைவு விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் கட்டங்களில் (RTP) இயந்திர அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது, இது ஒட்டுமொத்த இறக்கும் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

மேம்பட்ட ஃபேப்ரிகேஷனில் உள்ள பயன்பாடுகள்

எங்கள் SiC வேஃபர் படகு கேரியர் ஃபேப்பில் மிகவும் தேவைப்படும் "ஹாட் சோன்" செயல்முறைகளுக்கு உகந்ததாக உள்ளது:

• LPCVD & PECVD: இரசாயன முன்னோடிகளுக்கு அதிக எதிர்ப்பானது படகு சீரழிவதைத் தடுக்கிறது, இது ஒரு நிலையான செயல்முறைக் கருவியின் ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.
• உயர்-வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம்: குவார்ட்ஸைப் போலல்லாமல், SiC ஆனது, ஆயிரக்கணக்கான சுழற்சிகளில் அதன் வலிமையைப் பராமரிக்கிறது.
• பரவல் மற்றும் அனீலிங்: படகு முழுவதும் உயர்ந்த வெப்ப சீரான தன்மை, தொகுப்பில் உள்ள ஒவ்வொரு செதில்களும் அதே வெப்ப சுயவிவரத்தை அனுபவிப்பதை உறுதி செய்கிறது.
• SiC Epitaxy: குறிப்பாக SiC அடி மூலக்கூறுகளில் வளரும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளுக்குத் தேவையான கடுமையான சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

ஆயுள் செலவு-செயல்திறனை சந்திக்கிறது

SiC வன்பொருளில் ஆரம்ப முதலீடு குவார்ட்ஸை விட அதிகமாக இருந்தாலும், மொத்த உரிமைச் செலவு (TCO) கணிசமாகக் குறைவாக உள்ளது. எங்கள் கேரியர்கள் நீண்ட ஆயுளுக்காக கட்டப்பட்டவை, பெரும்பாலும் பாரம்பரிய பொருட்களை விட 5 முதல் 10 மடங்கு நீடிக்கும். இது உதிரிபாகங்களை மாற்றுவதற்கான கருவி செயலிழப்பின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் விலையுயர்ந்த செதில்களின் முழு தொகுப்பையும் அழிக்கக்கூடிய பேரழிவு படகு தோல்வியின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

நிரூபிக்கப்பட்ட பொறியியலுக்கு உங்கள் செயல்முறையை நம்புங்கள்

செமிகண்டக்டர் துறையில், "நல்ல போதும்" என்பது போதாது என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். எங்கள் உற்பத்தி செயல்முறை 100% CMM பரிமாண ஆய்வு மற்றும் வெற்றிட பேக்கேஜிங் முன் உயர் தூய்மை மீயொலி சுத்தம் அடங்கும்.

நீங்கள் 200 மிமீ SiC மின் சாதன லைனை அளவிடுகிறீர்களோ அல்லது மரபுவழி 150mm செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறீர்களோ, ஸ்லாட் பிட்ச், படகு நீளம் மற்றும் உங்கள் குறிப்பிட்ட உலை தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு உள்ளமைவுகளைக் கையாள எங்கள் பொறியியல் குழு உள்ளது.