SiC வெற்றிட சக்

Semicorex SiC Vacuum Chuck என்பது ஒரு பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட கருவியாகும், இது மிகவும் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் முக்கியமான செயலாக்க நிலைகளில் குறைக்கடத்தி செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும். SiC Vacuum chuck இன் CVD SiC பூச்சு விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது.

SiC Vacuum Chuck இன் கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்தபட்ச குணகத்தை வழங்குகிறது. இது திறமையான வெப்பச் சிதறல் மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. இந்த அம்சங்கள் உகந்த செயலாக்க நிலைகளை பராமரிக்கவும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் விளைச்சலை அதிகரிக்கவும் அவசியம்.

SiC வெற்றிட சக் வெற்றிட சூழல்களுடன் இணக்கமாக உள்ளது, இது சக் மற்றும் வேஃபர் இடையே உயர்ந்த ஒட்டுதலை உறுதி செய்கிறது. இது அதிக துல்லியமான செயல்பாடுகளின் போது சறுக்கல் அல்லது தவறான சீரமைப்பு அபாயத்தை நீக்குகிறது. அதன் நுண்துளை இல்லாத மேற்பரப்பு மற்றும் செயலற்ற பண்புகள், வாயு வெளியேற்றம் அல்லது துகள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழலின் தூய்மை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது.

Semicorex SiC Vacuum Chuck என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் ஒரு மூலக்கல்லாகும், இது தொழில்துறையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய இணையற்ற செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்பை வழங்குகிறது. லித்தோகிராஃபி, செதுக்கல், படிவு அல்லது பிற முக்கியமான செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த மேம்பட்ட தீர்வு குறைக்கடத்தி செதில் கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்தில் சிறந்த தரங்களை மறுவரையறை செய்கிறது.