SiC ரோபோ ஆர்ம்

செமிகோரெக்ஸ் SiC ரோபோ ஆர்ம் என்பது உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் ரோபோடிக் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியம் மற்றும் நீடித்து நிலைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகண்டக்டர் துறையின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப புதுமையான, நம்பகமான மற்றும் உயர்தர தீர்வுகளை வழங்குவதில் எங்கள் நிபுணத்துவத்திற்காக Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

Semicorex SiC ரோபோ ஆர்ம் ஒரு அதிநவீன அம்சமாகும்சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ரோபோ கை. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் விதிவிலக்கான பண்புகளைப் பயன்படுத்தி, இந்த ரோபோ கை துல்லியமான கையாளுதல், உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றில் இணையற்ற செயல்திறனை வழங்குகிறது, இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஒரு தவிர்க்க முடியாத சொத்தாக அமைகிறது.

உயர் தூய்மையில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான், SiC ரோபோ ஆர்ம் குறிப்பிடத்தக்க இயந்திர வலிமை மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. அதன் தனித்துவமான பொருள் கலவையானது தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் இரசாயனங்களின் வெளிப்பாடு போன்ற கடுமையான சூழ்நிலைகளில் சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் தீவிர தூய்மையான செயல்பாட்டுத் தரங்களைப் பேணுகிறது. துருப்பிடிக்காத எஃகு அல்லது அலுமினியம் போன்ற வழக்கமான பொருட்களைப் போலல்லாமல், சிலிக்கான் கார்பைடு சிறந்த விறைப்புத்தன்மையை வழங்குகிறது, இயந்திர அழுத்தத்தின் கீழ் கூட குறைந்தபட்ச சிதைவை உறுதி செய்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் தேவைப்படும் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதில் இந்த பண்பு முக்கியமானது.

SiC Robot Arm இன் மேம்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்பட அனுமதிக்கிறது. இது வெப்ப விரிவாக்கத்தை எதிர்க்கிறது மற்றும் பரிமாண ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, இது அனீலிங், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் போன்ற வெப்ப செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. மேலும், கையின் இரசாயன செயலற்ற தன்மையானது பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சூழல்களில் செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது, அங்கு ஆக்கிரமிப்பு வாயுக்கள் மற்றும் திரவங்களை வெளிப்படுத்துவது வழக்கமானது. இந்த பண்புக்கூறுகள் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகளுக்கு பங்களிக்கின்றன, இது அதிக செயல்பாட்டு செயல்திறனை மொழிபெயர்க்கிறது.

சுத்தமான அறை சூழலில், குறைந்த துகள் உற்பத்தியை பராமரிப்பது அவசியம். SiC ரோபோ ஆர்ம் அதன் அடர்த்தியான, வினைத்திறன் இல்லாத மேற்பரப்புடன் இந்தத் தேவையைப் பூர்த்தி செய்கிறது, இது துகள் உதிர்தலைக் குறைக்கிறது. இந்த பண்பு குறைக்கடத்தி செயல்முறையின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை குறைக்கிறது, இது அதிக உற்பத்தி விளைச்சலை அடைவதற்கும் குறைபாடுகளைக் குறைப்பதற்கும் முக்கியமானது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இலகுரக தன்மை ரோபோ அமைப்புகளின் அழுத்தத்தை குறைக்கிறது, ஆற்றல் திறன் மற்றும் ஒட்டுமொத்த அமைப்பின் நீண்ட ஆயுளை அதிகரிக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் பயன்பாடுகள்

SiC ரோபோ ஆர்ம் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் பல்வேறு நிலைகளில் இன்றியமையாத கருவியாகும். செதில் கையாளுதலில், செயலாக்க நிலையங்களுக்கு இடையில் சிலிக்கான் செதில்களின் பாதுகாப்பான மற்றும் துல்லியமான பரிமாற்றத்தை உறுதிசெய்கிறது, இயந்திர சேதம் மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. அதன் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைகளுக்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது. அனீலிங் அல்லது ஆக்சிஜனேற்றம் போன்ற வெப்ப செயல்முறைகளின் போது, கை அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் துல்லியமான செயல்பாட்டைத் தக்கவைத்து, நிலையான மற்றும் நம்பகமான முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, அதன் உயர் துல்லியம் மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை ஆய்வு மற்றும் அளவியல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக உள்ளது, அங்கு துல்லியமான நிலைப்பாடு முக்கியமானது.

செமிகோரெக்ஸ் ஒவ்வொரு SiC ரோபோ கையும் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது என்பதை உறுதி செய்கிறது. குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்கக்கூடிய உள்ளமைவுகளில் கிடைக்கிறது. வடிவமைக்கப்பட்ட பரிமாணங்கள், மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு பூச்சுகள் மற்றும் ஏற்கனவே உள்ள ரோபோ அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பு விருப்பங்கள் ஆகியவை வழங்கப்படும் தனிப்பயனாக்குதல் அம்சங்களில் சில, பல்வேறு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளில் தடையற்ற தத்தெடுப்பை செயல்படுத்துகிறது.

SiC ரோபோ கையைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது தரம், ஆயுள் மற்றும் துல்லியம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு தயாரிப்பில் முதலீடு செய்வதாகும். செமிகோரெக்ஸில், செமிகண்டக்டர் பொருள் தயாரிப்பில் பல ஆண்டுகளாக நிபுணத்துவம் பெற்ற புதுமையான தீர்வுகளை வழங்குவதில் பெருமிதம் கொள்கிறோம். சிறந்து விளங்குவதற்கான எங்கள் அர்ப்பணிப்பு, எங்களின் தயாரிப்புகள் செயல்முறை திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை எப்போதும் உருவாகி வரும் குறைக்கடத்தி துறையில் மேம்படுத்துவதை உறுதி செய்கிறது.

முடிவில், SiC ரோபோ ஆர்ம் ஒரு கூறுகளை விட அதிகம்; இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒரு மூலக்கல்லாகும். அதன் வலுவான வடிவமைப்பு, உயர்ந்த பொருள் பண்புகள் மற்றும் துல்லியமான செயல்திறன் ஆகியவை செயல்திறன் மற்றும் தரத்தில் சிறந்து விளங்குவதை நோக்கமாகக் கொண்ட எந்தவொரு உற்பத்தி வரிசைக்கும் ஒரு முக்கிய கூடுதலாகும்.